[发明专利]智能型弱点图形诊断方法与系统

权利要求书

1.一种智能型弱点图形诊断方法，应用于一电脑系统实现的智能型弱点图形诊断系统中，其特征在于所述的方法包括：

该电脑系统自一缺陷图形库与一高失败频率的缺陷图形库引入一弱点图形布局；

该电脑系统取得经一制造工艺厂的缺陷检测工具所取得的缺陷检测数据；

该电脑系统引入一设计布局数据，该设计布局数据至少包括系统性的各种缺陷与弱点图形；

执行弱点图形筛选与过滤，以比对该缺陷图形库与该高失败频率的缺陷图形库中记载的弱点图形与由该电脑系统取得的设计布局数据，分类以取得一已知弱点图形群组；

执行未知弱点图形筛选与过滤，由该电脑系统取得的设计布局数据作图形相似比对，找出不属于且不相似于该缺陷图形库与该高失败频率的缺陷图形库的弱点图形，分类以取得一未知弱点图形群组；

得出该已知弱点图形群组以及该未知弱点图形群组的分布；

取得一待测物影像，以取得该待测物上弱点图形的坐标位置与度量数据；以及

执行一影像处理，得到弱点图形轮廓以及各弱点图形的尺寸、范围与数量，用以判断系统性的弱点图形。

2.如权利要求1所述的智能型弱点图形诊断方法，其中该执行弱点图形筛选与过滤的步骤包括一轮廓比对，其中：

引入基本比对元素与基本多边图形比对元素；以及

与该待测物上的图形进行比对。

3.如权利要求2所述的智能型弱点图形诊断方法，其中该轮廓比对步骤中，以该基本比对元素或该多边图形比对元素与该待测物的涵盖比率作为判断基础，辅以该基本比对元素或该多边图形比对元素的中心线进行比对，于一可允许的宽容度下得到相似的弱点图形。

4.如权利要求3所述的智能型弱点图形诊断方法，其中于该基本比对元素或该多边图形比对元素的中心线进行比对时，引入该基本比对元素或该多边图形比对元素的尺寸与彼此的间的距离、方向与连结关系。

5.如权利要求4所述的智能型弱点图形诊断方法，其中以该多边图形比对元素为有几处转折的几何图形，比对时采顺时钟或逆时钟转动比对，随时调整该多边图形比对元素大小，藉此找到一样或类似的弱点图形。

6.如权利要求5所述的智能型弱点图形诊断方法，其中透过比对该基本比对元素或该多边图形比对元素，确认弱点图形后更新该弱点图形库的弱点图形。

7.如权利要求1所述的智能型弱点图形诊断方法，其中利用一扫描式电子显微镜进行检视，扫描而取得该待测物影像。

8.如权利要求7所述的智能型弱点图形诊断方法，其中以该扫描式电子显微镜监看与预览该待测物时，以电子束扫描工具检测与确认该待测物上的缺陷图形。

9.如权利要求1所述的智能型弱点图形诊断方法，其中利用一光学显微镜进行检视，以取得该待测物影像。

10.一种以一电脑系统实现的智能型弱点图形诊断系统，其中该电脑系统包括一处理器与一存储器，于该处理器中执行一智能型弱点图形诊断方法，其特征在于，所述执行于该处理器的方法包括：

该电脑系统自一缺陷图形库与一高失败频率的缺陷图形库引入一弱点图形布局；

该电脑系统取得经一制造工艺厂的缺陷检测工具所取得的缺陷检测数据；

该电脑系统引入一设计布局数据，该设计布局数据至少包括系统性的各种缺陷与弱点图形；

执行弱点图形筛选与过滤，以比对该缺陷图形库与该高失败频率的缺陷图形库中记载的弱点图形与由该电脑系统取得的设计布局数据，取得一已知弱点图形群组；

执行未知弱点图形筛选与过滤，由该电脑系统取得的设计布局数据作图形相似比对，找出不属于且不相似于该缺陷图形库与该高失败频率的缺陷图形库的弱点图形，取得一未知弱点图形群组；

得出该已知弱点图形群组以及该未知弱点图形群组的分布；

取得一待测物影像，以取得该待测物上弱点图形的坐标位置与度量数据；以及

执行一影像处理，得到弱点图形轮廓以及各弱点图形的尺寸、范围与数量，用以判断系统性的弱点图形。