[发明专利]一种光子晶体滤波镜片及其制备方法

权利要求书

1.一种光子晶体滤波镜片，其特征在于：光子晶体滤波镜片包括平板玻璃基板和镀在平板玻璃基板一侧的光子晶体膜，所述光子晶体膜由底层、中间层和外层构成，所述的底层和外层均由交替设置的碲化镉层（1）和二氧化硅层（2）构成，且底层和外层的结构对称，所述底层中最靠近中间层的一层为二氧化硅层（2），最靠近平板玻璃基板的一层为碲化镉层（1），所述的中间层为五氧化二钽层（3），外层中与中间层相接的一层为二氧化硅层（2）。

2.如权利要求1所述的一种光子晶体滤波镜片的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤一：加工一个厚度为36mm的平板玻璃作为基板，对基板双面和立边进行抛光处理，在基板四周加工工艺倒角；

步骤二：采用酸性清洗液和去离子水分别对基板表面进行清洁化处理，然后将基板放置于热板上进行烘干，热板温度设置为65℃，烘干时间为10分钟；

步骤三：将基板放入真空镀膜机中，在基板的上表面镀一层碲化镉膜，镀膜厚度为91.1nm，镀膜后干燥冷却30分钟；然后在碲化镉膜上方镀一层二氧化硅膜，镀膜厚度为167.8nm，镀膜后干燥冷却30分钟；

步骤四：按照步骤三的方法重复操作4次；

步骤五：在步骤四完成后的基板二氧化硅膜上方镀一层五氧化二钽膜，镀膜厚度为233.3nm,镀膜后干燥冷却30分钟；

步骤六：在五氧化二钽膜上镀一层二氧化硅膜，镀膜厚度为167.8nm，镀膜后干燥冷却30分钟；然后在二氧化硅膜上方再镀一层碲化镉膜，镀膜厚度为91.1nm，镀膜后干燥冷却30分钟；

步骤七：按照步骤七的方法重复操作4次，镀膜完成。