[发明专利]一种锗晶体码盘分划工艺在审
| 申请号： | 201410211244.4 | 申请日： | 2014-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN103955114A | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 苏颖;陈俊霞;张勇;张成群;龚涛;赵科兵;赵淑君 | 申请（专利权）人： | 河南平原光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G01D5/347 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 454001 河南省焦*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶体 码盘分划 工艺 | ||
【权利要求书】：
1.一种锗晶体码盘分划工艺，其特征在于：其工艺流程为：涂胶→前烘→曝光→中烘→显影→后烘→清洗→镀铬→去胶→检验。
2.根据权利要求1所述的锗晶体码盘分划工艺，其特征在于：所述的前烘、中烘、后烘三道工序均为放入烘箱烘干后取出放入暗室中自然冷却。
3.根据权利要求1所述的锗晶体码盘分划工艺，其特征在于：所述的涂胶工序中采用的胶为负性光刻胶。
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