[发明专利]管芯顶部层离的消除在审
申请号: | 201410213206.2 | 申请日: | 2014-05-20 |
公开(公告)号: | CN104183544A | 公开(公告)日: | 2014-12-03 |
发明(设计)人: | 曾瑞源;H.克尔纳;梁光扬;王梅容 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/768 | 分类号: | H01L21/768;H01L21/71 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 申屠伟进;徐红燕 |
地址: | 德国瑙伊比*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 管芯 顶部 消除 | ||
1.一种集成电路模块,包括:
集成电路器件,其具有第一表面和布置在第一表面上的多个接合焊盘;
金属接合线或金属带,其附接在相应的第一子集的接合焊盘之一与封装衬底或引线框之一之间,使得第二子集的接合焊盘不附接于封装衬底或引线框;
金属柱形凸起,其附于一个或多个第二子集的接合焊盘中的每一个;以及
模塑化合物,其接触第一表面并大体上包围接合线或带状线以及金属柱形凸起。
2.根据权利要求1所述的集成电路模块,其中一个或多个金属柱形凸起包括钉头接合,钉头接合附于第二子集的接合焊盘中对应的一个。
3.根据权利要求2所述的集成电路模块,其中一个或多个金属柱形凸起进一步包括紧邻钉头接合被切断的线段。
4.根据权利要求1所述的集成电路模块,其中金属柱形凸起包括金属接合线,金属接合线附于第二子集的接合焊盘中的两个中的每一个。
5.根据权利要求1所述的集成电路模块,其中第二子集的接合焊盘中的每一个的暴露表面包括贵金属,并且其中金属柱形凸起大体上由铜或铝组成。
6.根据权利要求1所述的集成电路模块,其中第二子集的接合焊盘由不被集成电路器件电使用的接合焊盘组成。
7.根据权利要求1所述的集成电路模块,其中第二子集的接合焊盘包括集成电路器件上除了第一子集的接合焊盘之外的所有接合焊盘,并且其中金属柱形凸起附于第二子集的接合焊盘中的每一个。
8.根据权利要求1所述的集成电路模块,其中第二子集的接合焊盘包括集成电路器件上除了第一子集的接合焊盘之外的所有接合焊盘,并且其中金属柱形凸起附于第二子集的接合焊盘中间隔的接合焊盘。
9.一种用于制造集成电路模块的方法,所述方法包括:
提供具有第一表面和布置在第一表面上的多个接合焊盘的集成电路器件;
将金属接合线或金属带附接在相应的第一子集的接合焊盘之一与封装衬底或引线框之一之间,使得第二子集的接合焊盘不附接于封装衬底或引线框;
将金属柱形凸起附于一个或多个第二子集的接合焊盘中的每一个;以及
将模塑化合物布置在集成电路器件上,使得所述模塑化合物接触第一表面并大体上包围接合线或带状线以及金属柱形凸起。
10.根据权利要求9所述的集成电路模块,其中将金属柱形凸起附于一个或多个第二子集的接合焊盘中的每一个包括将钉头接合附于第二子集的接合焊盘中对应的一个。
11.根据权利要求10所述的集成电路模块,其中将金属柱形凸起附于一个或多个第二子集的接合焊盘中的每一个进一步包括紧邻钉头接合切断从钉头接合延伸的线段。
12.根据权利要求9所述的集成电路模块,其中将金属柱形凸起附于一个或多个第二子集的接合焊盘中的每一个包括将金属接合线附于第二子集的接合焊盘中的两个中的每一个。
13.根据权利要求9所述的集成电路模块,其中第二子集的接合焊盘中的每一个的暴露表面包括贵金属,并且其中金属柱形凸起大体上由铜或铝组成。
14.根据权利要求9所述的集成电路模块,其中第二子集的接合焊盘由不被集成电路器件电使用的接合焊盘组成。
15.根据权利要求9所述的集成电路模块,其中第二子集的接合焊盘包括集成电路器件上除了第一子集的接合焊盘之外的所有接合焊盘,并且其中将金属柱形凸起附于一个或多个第二子集的接合焊盘中的每一个包括将金属柱形凸起附于第二子集的接合焊盘中的每一个。
16.根据权利要求9所述的集成电路模块,其中第二子集的接合焊盘包括集成电路器件上除了第一子集的接合焊盘之外的所有接合焊盘,并且其中将金属柱形凸起附于一个或多个第二子集的接合焊盘中的每一个包括将金属柱形凸起附于第二子集的接合焊盘中间隔的接合焊盘。
17.根据权利要求9所述的集成电路模块,其中第二子集的接合焊盘包括集成电路器件上除了第一子集的接合焊盘之外的所有接合焊盘,并且其中将金属柱形凸起附于一个或多个第二子集的接合焊盘中的每一个包括将金属柱形凸起附于第二子集的接合焊盘中随机选择的接合焊盘。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造