[发明专利]一种被动式脉动流体滤波装置在审
| 申请号： | 201410213804.X | 申请日： | 2014-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN103953530A | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 陈立国;贺文元;吴宣;潘明强 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | F04B43/04 | 分类号： | F04B43/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 被动式 脉动 流体 滤波 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种被动式脉动流体滤波装置，其特征在于：包括上基板、下基板、薄膜层，所述薄膜层设置于所述上基板、下基板之间，所述上基板、下基板、薄膜层之间密封贴合，所述上基板底部横向设置有用于流体流动的微通道，并且在所述微通道的两端分别开设有供流体流入的进口与供流体流出的出口，所述下基板纵向设置有通孔。
2.根据权利要求1所述的被动式脉动流体滤波装置，其特征在于：所述薄膜层为PDMS薄膜层，所述上基板、下基板为玻璃基板。
3.根据权利要求2所述的被动式脉动流体滤波装置，其特征在于：所述PDMS薄膜层的弹性模量为750kPa，泊松比为0.49。
4.根据权利要求2所述的被动式脉动流体滤波装置，其特征在于：所述薄膜层、上基板和下基板之间采用不可逆的密封工艺键合密封。
5.根据权利要求4所述的被动式脉动流体滤波装置，其特征在于：所述不可逆的密封工艺包括氧等离子体表面处理或紫外光表面照射处理。
6.根据权利要求1所述的被动式脉动流体滤波装置，其特征在于：所述微通道为矩形或梯形凹槽。
7.根据权利要求1所述的被动式脉动流体滤波装置，其特征在于：所述通孔的半径为2～6mm。
8.根据权利要求7所述的被动式脉动流体滤波装置，其特征在于：所述通孔的半径为5mm。
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