[发明专利]一种滤波器及其形成方法

说明书

本发明提供了一种滤波器，包括：衬底；衬底上的介质层；介质层中的第一金属层；槽线谐振腔，为形成在第一金属层中的槽线型谐振腔，暴露第一金属层下的介质层；输入馈线和输出馈线。本发明通过半导体制造工艺，在金属层中形成槽线谐振腔，使得信号在槽线间传播，实现信号的滤波，结构紧凑，易于在集成电路工艺中实现。

技术领域

本发明涉及半导体器件及滤波器领域，尤其涉及一种滤波器。

背景技术

在无线通信领域，滤波器是一种关键的无源器件，滤波器的带通特性可以分隔频谱资源空间、带阻特性可以排除工作频带外的电磁干扰。

随着射频电路集成化的提高以及材料科学和制造技术的不断进步，无线通讯电路的尺寸也越来越小，逐步向着片式化、集成化、模块化发展。对于无线通信电路中关键的无源器件滤波器，也提出了更高的要求。

分布式传输线最早应用于平面PCB电路板中，主要有微带线结构、共面波导(CPW)结构、槽线和缺陷地(DGS)结构，其应用广泛且成熟，但平面PCB电路的尺寸太大，无法满足现代无线通信技术的要求。

因此，有必要提出一种结构紧凑，易于在集成电路工艺中实现的滤波器。

发明内容

本发明旨在解决上述问题之一，提供了一种滤波器，结构紧凑，易于在集成电路工艺中实现。

为实现上述目的，本发明实施例提供了如下技术方案：

一种滤波器，包括：

衬底；

衬底上的介质层；

介质层中的第一金属层，第一金属层为接地端且为平面层；

槽线谐振腔，为形成在第一金属层中的槽线型谐振腔，暴露第一金属层下的介质层；

与槽线谐振腔相连的输入馈线和输出馈线。

可选的，所述槽线型谐振腔为基本为U型的槽线谐振腔。

可选的，所述输入馈线和输出馈线为形成在第一金属层中的共面波导传输线，都包括传输线和沟槽，沟槽位于传输线的两侧且暴露第一金属层下的介质层，所述输入馈线和输出馈线的传输线和沟槽分别与U型的槽线的两个侧边相接，第一金属层接地。

可选的，还包括第一金属层之上的第二金属层，第二金属层为微带传输线的输入馈线和输出馈线。

此外，本发明还提供了上述滤波器的形成方法，包括步骤：

提供衬底；

在所述衬底上形成第一介质层，以及在第一介质层中形成第一金属层，第一金属层为接地端且为平面层；

刻蚀第一金属层，直到暴露第一介质层，在第一金属层中形成槽线，以形成槽线谐振腔；

形成输入馈线和输出馈线。

可选的，所述槽线谐振腔基本为U型。

可选的，形成输入馈线和输出馈线的步骤具体包括：

刻蚀第一金属层，直到暴露第一介质层，在第一金属层中形成第一沟槽和第二沟槽；

其中，第一沟槽和第二沟槽与U型的槽线的两个侧边相接，第一沟槽和第二沟槽间的第一金属层为传输线，该传输线与第一沟槽和第二沟槽构成共面波导的输入馈线和输出馈线。

可选的，形成输入馈线和输出馈线的步骤具体包括：

在第一金属层上形成第二介质层，以及在第二介质层中形成第二金属层，第二金属层为微带传输线的输入馈线和输出馈线。