[发明专利]一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置

权利要求书

1.一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置，其特征在于：包括固定夹具(2)、探针夹连接器(3)和探针夹(4)；所述探针夹连接器(3)固定于固定夹具(2)上，并与探针夹(4)连接；

所述探针夹连接器(3)包括电路主板(6)、信号电缆(8)和插针(7)；电路主板(6)上固定有多个插针(7)，其中两个插针(7)与两根信号电缆(8)相连。

2.按权利要求1所述的一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置，其特征在于:所述固定夹具(2)为一个折弯的金属片，包括侧板(30)和底板(26)；侧板(30)上设有多个螺丝孔(23)和侧板减重孔(24)，底板(26)设有多个底板减重孔(25)，与探针夹连接器(3)螺栓连接；侧板(30)的外表面与底板(26)的外表面成100～105度角。

3.按权利要求1所述的一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置，其特征在于：所述探针夹(4)包括探针夹电路主板(9)、压电陶瓷片(12)、探针定位块(15)、弹簧片(10)和冠簧插孔(14)；

所述探针夹电路主板(9)上设有多个冠簧插孔(14)和第一过孔(17)、第二过孔(18)；冠簧插孔(14)与插针(7)对应且数量相等；其中两个冠簧插孔(14)通过两个插针(7)的插入与探针夹连接器(3)上的两根信号线缆(8)电连接；探针夹电路主板(9)上还设有第一凹槽(16)，第一凹槽(16)内固定有压电陶瓷片(12)；压电陶瓷片(12)上固定有探针定位块(15)；

所述弹簧片(10)的一端通过第二过孔(18)与探针夹电路主板(9)螺栓连接，另一端依靠弹簧片(10)的预紧力夹住探针(11)使其固定于探针定位块(15)上。

4.按权利要求3所述的一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置，其特征在于：所述第一凹槽(16)的高度小于或等于压电陶瓷片(12)的厚度。

5.按权利要求3所述的一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置，其特征在于：所述探针定位块(15)为长方体，上表面有用于定位探针(11)的第二凹槽(21)。

6.按权利要求5所述的一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置，其特征在于：所述第二凹槽(21)高度小于探针(11)的厚度。

7.按权利要求3所述的一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置，其特征在于：还包括探针夹底座(5)，由固定块(19)和固定圆柱(20)构成；固定块(19)上表面设有固定圆柱(20)；所述固定圆柱(20)与探针夹电路主板(9)上的第一过孔(17)对应；探针夹底座(5)在更换探针(11)时置于探针夹电路主板(9)下部、通过固定圆柱(20)插入探针夹(4)实现探针(11)的装卸。