[发明专利]加压输送容器、使用了其的保管方法以及移液方法

权利要求书

1.一种加压输送容器，其特征在于，其为以保管保护膜形成用化学溶液或保护膜形成用化学溶液组合试剂、且能够通过对内部进行加压来移液的方式构成的加压输送容器，所述保护膜形成用化学溶液用于在表面具有凹凸图案且该凹凸图案的至少一部分包含硅元素的晶圆的该凹凸图案的至少凹部表面形成拒水性保护膜，所述保护膜形成用化学溶液组合试剂通过混合而形成所述保护膜形成用化学溶液，

所述保护膜形成用化学溶液具有非水有机溶剂、甲硅烷基化剂、以及酸或碱，

所述保护膜形成用化学溶液组合试剂包含：具有非水有机溶剂和甲硅烷基化剂的处理液A，以及具有非水有机溶剂、和酸或碱的处理液B，

所述加压输送容器具备：用于填充所述保护膜形成用化学溶液、所述处理液A以及所述处理液B中的任意液体的容器主体；为了相对于所述容器主体填充和/或取出所述液体而将所述液体进行通液的通液喷嘴；与填充于所述容器主体的液体接触的液体接触喷嘴；以及用于相对于所述容器主体导入和/或排出气体的气体口喷嘴，

所述容器主体由与所述液体接触的部分为树脂材料的金属罐体构成，

所述通液喷嘴设置有用于降低所述液体的带电电位的除电机构，所述通液喷嘴中除了所述除电机构之外的液体接触部分由树脂材料构成，所述通液喷嘴与液体接触喷嘴连接，所述液体接触喷嘴的与填充于容器主体的液体接触的至少表面为树脂制。

2.根据权利要求1所述的加压输送容器，其中，所述除电机构由进行了接地连接的导电性材料构成。

3.根据权利要求2所述的加压输送容器，其中，所述除电机构是通过使所述通液喷嘴的与所述液体接触的表面的一部分为进行了接地连接的导电性材料而构成的。

4.根据权利要求2所述的加压输送容器，其中，所述除电机构是通过将进行了接地连接的导电性材料以接触所述液体的方式设置在所述通液喷嘴中而构成的。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的加压输送容器，其中，所述容器主体还设置有用于降低所述液体的带电电位的除电机构。

6.根据权利要求5所述的加压输送容器，其中，设置于所述容器主体的除电机构由棒状体构成，所述棒状体的与所述液体接触的表面的一部分为进行了接地连接的导电性材料，除了所述导电性材料以外的液体接触部分为树脂材料。

7.根据权利要求1～4中任一项所述的加压输送容器，其中，所述容器主体由内部表面实施了树脂内衬处理的金属罐体或者覆盖树脂罐体的外包装的金属罐体构成。

8.根据权利要求5所述的加压输送容器，其中，所述容器主体由内部表面实施了树脂内衬处理的金属罐体或者覆盖树脂罐体的外包装的金属罐体构成。

9.根据权利要求2所述的加压输送容器，其中，所述导电性材料由选自由钢铁、合金铸铁、马氏体时效钢、不锈钢、镍及其合金、钴及其合金、铝、镁及其合金、铜及其合金、钛、锆、钽、铌及其合金、铅及其合金、贵金属及其合金、金刚石、以及玻璃碳组成的组中的至少一种构成。

10.根据权利要求9所述的加压输送容器，其中，所述不锈钢为经电解研磨的SUS304、经电解研磨的SUS316L，所述贵金属为金、银、铂、钯、铑、铱、钌、锇。

11.根据权利要求2所述的加压输送容器，其中，所述导电性材料由选自由含有钢铁、合金铸铁、马氏体时效钢、不锈钢、镍及其合金、钴及其合金、铝、镁及其合金、铜及其合金、钛、锆、钽、铌及其合金、铅及其合金、贵金属及其合金、金刚石、玻璃碳、以及碳的树脂材料组成的组中的至少两种构成。

12.根据权利要求11所述的加压输送容器，其中，所述不锈钢为经电解研磨的SUS304、经电解研磨的SUS316L，所述贵金属为金、银、铂、钯、铑、铱、钌、锇。

13.根据权利要求1所述的加压输送容器，其中，所述树脂材料由选自由高密度聚乙烯(HDPE)、聚丙烯(PP)、6,6-尼龙、四氟乙烯(PTFE)、四氟乙烯与全氟烷基乙烯基醚的共聚物(PFA)、聚氯三氟乙烯(PCTFE)、乙烯-氯三氟乙烯共聚物(ECTFE)、乙烯-四氟乙烯共聚物(ETFE)、以及四氟乙烯-六氟丙烯共聚物(FEP)组成的组中的至少一种构成。