[发明专利]加工装置以及信息交换方法

说明书

本发明提供加工装置以及信息交换方法，其能够进行任意的写入、且能够显示该任意的写入。加工装置具有：卡盘台，其保持被加工物；加工构件，其对卡盘台所保持的被加工物进行加工；摄像构件，其拍摄卡盘台所保持的被加工物的表面；控制构件，其控制加工构件和摄像构件；以及触摸面板，其显示摄像构件所拍摄的图像和对控制构件输入设定加工条件的操作画面，在触摸面板(40)上可显示自由写入的记录画面(45)，记录画面(45)能够沿着按压触摸面板(40)的轨迹显示按压后的结果，从而在触摸面板(40)上显示任意的写入信息(PI)。

技术领域

本发明涉及加工装置以及在加工装置与终端装置之间交换信息的信息交换方法。

背景技术

在半导体器件和电子部件的制造工艺中，在通过安装于磨削装置的主轴的磨轮来磨削由半导体晶片或陶瓷基板等各种材料构成的板状的被加工物而将其形成为规定的厚度后，通过安装于切削装置的主轴的切削刀具或激光加工装置将其分割成一个个的器件芯片。

在磨削装置、切削装置以及激光加工装置这些加工装置中，近年来大多将操作性良好的触摸面板搭载到工人等操作员容易视觉辨认的位置处(例如参照专利文献1)。加工装置通过由操作员操作触摸面板，被输入各种加工条件，从而进行与各种被加工物匹配的最佳加工。

此外，加工装置由多个操作员使用，因此能够安装传话板(留言板)以保留对操作员的传话(例如参照专利文献2)。对操作员的传话是不同于加工条件的、例如提醒注意、或者除加工以外提供想周知的信息，其内容和用途是多样的。

此外，由于互联网的普及，加工装置也联网化，能够由装置制造商进行远程操作。此外，还能够在装置制造商的终端装置中联网确认加工装置的触摸面板所显示的内容(例如参照专利文献3)。

【专利文献1】日本特开2003-158094号公报

【专利文献2】日本特愿2011-279865号

【专利文献3】日本特愿2012-158811号

在加工装置中安装了留言板的情况下，根据安装场所，留言板与操作员可能接触。此外，留言板的安装场所仅在高处或低处的加工装置也较多，因此还有可能难以由操作员看到留言板、从而没有充分散布注意提醒和传话等。

此外，在由装置制造商对加工装置进行联网操作的情况下，即使装置制造商的工程师与操作员在观察触摸面板所显示的内容的同时用语音进行交流，例如对于应该用画或图等说明的内容，也可能无法进行充分的思想沟通。

因此，期望能够进行画或图等任意的写入、且能够显示该任意的写入的加工装置。

发明内容

本发明正是鉴于上述情况而完成的，其目的在于，提供一种能够进行任意的写入、且能够显示该任意的写入的加工装置以及信息交换方法。

为了解决上述问题并达成目的，本发明的加工装置具有：卡盘台，其保持被加工物；加工构件，其对所述卡盘台所保持的所述被加工物进行加工；摄像构件，其拍摄所述卡盘台所保持的所述被加工物的表面；控制构件，其控制所述加工构件和所述摄像构件；以及触摸面板，其显示操作画面和所述摄像构件所拍摄的图像，其中，该操作画面是对所述控制构件输入设定加工条件的画面，所述加工装置的特征在于，在所述触摸面板上能够显示自由写入的记录画面，所述记录画面能够沿着按压所述触摸面板的轨迹显示按压的结果，在所述触摸面板上显示任意的写入信息。