[发明专利]一种高频炉控制机构有效
申请号: | 201410215539.9 | 申请日: | 2014-05-21 |
公开(公告)号: | CN103994668A | 公开(公告)日: | 2014-08-20 |
发明(设计)人: | 李泉;杨志强;岳所祥;杭文辉 | 申请(专利权)人: | 南京麒麟科学仪器集团有限公司 |
主分类号: | F27D19/00 | 分类号: | F27D19/00 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 211300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高频 控制 机构 | ||
1.一种高频炉控制机构,其特征在于:包括高频炉控制面板(1),所述高频炉控制面板(1)上设有高频炉电源输入接口(4)、电磁阀接口(5)、高频炉工作状态指示灯(8)、串口通信端子(9)、限位开关接口(10),所述限位开关接口(10)连接有限位开关(2)和固态继电器(3),所述高频炉电源输入接口(4)通过整流电路(11)外接高压电源(12),所述电磁阀接口(5)连接升炉电磁阀(6)、清扫电磁阀(7),所述串口通信端子(9)与上位机相连接,所述高频炉控制面板(1)通过气体放电管(13)与地连接。
2.根据权利要求1所述的一种高频炉控制机构,其特征在于:所述电磁阀接口(5)还连接有排气电磁阀、入口电磁阀、出口电磁阀、清洗电磁阀、氧气电磁阀。
3.根据权利要求1所述的一种高频炉控制机构,其特征在于:所述高频炉电源输入接口(4)上连接有复位开关(14)。
4.根据权利要求1所述的一种高频炉控制机构,其特征在于:所述高频炉工作状态指示灯(8)包括清扫指示灯(15)、复位指示灯(16)和升炉指示灯(17)。
5.根据权利要求1所述的一种高频炉控制机构,其特征在于:所述高频炉电源输入接口(4)与整流电路(11)之间设有电流表(18)和限流电阻(19)。
6.根据权利要求1或5所述的一种高频炉控制机构,其特征在于:所述整流电路(11)为高压硅堆。
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