[发明专利]振动膜及其制法和应用

权利要求书

1.一种振动膜，其特征在于，所述振动膜包括金属基材以及位于所述基材至少一个主表面上的金属氧化物层，其中，所述金属氧化物层具有一个或多个改善音频特性和/或音质的以下特征：

(i)所述金属氧化物层具有有序的纳米管阵列结构；

(ii)所述金属氧化物层的硬度和/或弹性模量大于所述金属基材的硬度和/或弹性模量；

并且所述金属氧化物层是通过阳极氧化处理生成的。

2.根据权利要求1所述的振动膜，其特征在于，所述基材金属包括选自下组的金属：纯钛、钛合金、纯铝，铝合金，或其组合。

3.根据权利要求1所述的振动膜，其特征在于，所述具有纳米管阵列结构的金属氧化物层包括氧化钛和/或氧化铝。

4.根据权利要求3所述的振动膜，其特征在于，所述纳米管的平均长度为1μm～50μm；和/或所述纳米管的平均直径为20～150nm。

5.一种扬声器，其特征在于，所述扬声器包括权利要求1至4任一项所述的振动膜。

6.一种如权利要求1所述振动膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(a)提供金属基材；

(b)在所述金属基材的至少一个主表面上生成具有纳米管阵列结构的第一金属氧化物层；

(c)将所述第一金属氧化物层的纳米管剥离，得到主表面具有纳米管阵列结构模板的金属基材；

(d)在金属基材具有所述纳米管阵列模板的主表面上生成具有纳米管阵列结构的第二金属氧化物层，得到所述振动膜。

7.根据权利要求6所述的振动膜的制备方法，其特征在于，所述步骤(b)包括：

配置含有氟离子的电解质水溶液；

在所述含有氟离子的电解质水溶液中，以所述金属基材为阳极，对所述金属基材进行阳极氧化处理，从而在所述金属基材的至少一个主表面上生成具有纳米管阵列结构的第一金属氧化物层；

和/或，所述步骤(c)包括：

通过机械振动将所述第一金属氧化物层中的纳米管剥离，在所述金属基材的所述主表面上生成纳米管阵列模板，得到主表面具有纳米管阵列结构模板的金属基材；

和/或，所述步骤(d)包括：

在所述的氟离子电解质水溶液中，以主表面具有所述纳米管阵列模板的金属基材为阳极，对该金属基材进行阳极氧化处理，在所述主表面生成具有纳米管阵列结构的第二金属氧化物层，得到所述振动膜。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述含有氟离子的电解质水溶液包括选自下组的氟化物：氟化铵、氟化钾、氟化钠、或其组合；和/或

所述含有氟离子的电解质水溶液包括选自下组的添加剂：去离子水、丙三醇、乙二醇、甲醇、或其组合。

9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述氟化物为氟化铵，所述含有氟离子的电解质水溶液中氟化铵的含量为0.01～2.5wt.％。

10.一种如权利要求1所述振动膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(a1)提供金属基材；

(b1)在磷酸电解质水溶液中，以所述金属基材为阳极，对所述金属基材进行阳极氧化处理，在所述金属基材的至少一个主表面上生成金属氧化物层，得到所述振动膜。