[发明专利]阻抗匹配器的测试系统及方法有效

专利信息
申请号: 201410216819.1 申请日: 2014-05-21
公开(公告)号: CN105093002B 公开(公告)日: 2018-05-25
发明(设计)人: 成晓阳;张敏;卫晶;丁恒;孔庆宝;孙岩 申请(专利权)人: 北京北方华创微电子装备有限公司
主分类号: G01R31/00 分类号: G01R31/00
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 李芙蓉
地址: 100176 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 阻抗匹配器 阻抗模拟器 测试阻抗 匹配器 测试系统 可变阻抗 射频电源 驱动装置 电连接 工控机 测试 电阻 工作性能 机电连接 工控 阻抗 自动化
【说明书】:

发明提供了一种阻抗匹配器的测试系统,包括射频电源、待测试阻抗匹配器、阻抗模拟器和工控机,射频电源、待测试阻抗匹配器和阻抗模拟器依次电连接,射频电源、待测试阻抗匹配器及阻抗模拟器分别与工控机电连接;工控机用于控制射频电源、阻抗模拟器和待测试阻抗匹配器按照阻抗匹配器的测试方法对待测试阻抗匹配器的工作性能进行测试;阻抗模拟器包括电阻、多个可变阻抗调节单元和多个驱动装置,可变阻抗调节单元与电阻电连接;多个可变阻抗调节单元与多个驱动装置一一对应,驱动装置用于调节可变阻抗调节单元的阻抗值。本发明还涉及一种阻抗匹配器的测试方法。本发明的阻抗匹配器的测试系统及方法,提高了阻抗匹配器的测试系统的自动化程度。

技术领域

本发明涉及测试技术领域,特别是涉及一种阻抗匹配器的测试系统及方法。

背景技术

一般的阻抗匹配器测试系统由五部分组成,包括射频电源,监测仪器,待测试阻抗匹配器,阻抗模拟器和工控机(工业控制计算机)。上述阻抗匹配器测试系统中,监测仪器可以给出入射功率、反射功率、反射系数、输入阻抗等参数,并将数据在工控机上界面显示;阻抗模拟器可实现一定范围的阻抗模拟和功率负载;工控机将对监测仪器和阻抗匹配器的相关参数显示并记录。其中,阻抗模拟器和射频电源为手动控制装置,每次改变射频电源的输出信号和阻抗模拟器的阻抗值均需要人工调节,操作不易,测试系统的自动化程度低。

由于各个单元分开控制,且每次测试为单一流程,一般的阻抗匹配器测试系统无法实现重复测试,导致阻抗匹配器测试效率不高。此外,由于该测试系统无法将射频电源的数据、阻抗匹配器的数据、监测仪器的数据及阻抗模拟器的数据统一到同一时间轴上,不利于对阻抗匹配器的测试结果分析。

发明内容

鉴于现有技术的现状,本发明的目的在于提供一种阻抗匹配器的测试系统及方法,提高了阻抗匹配器测试的自动化程度,进而提高了阻抗匹配器的测试效率和测试精度。

为实现上述目的,本发明采用如下技术方案:

一种阻抗匹配器的测试系统,包括射频电源、待测试阻抗匹配器、阻抗模拟器和工控机,所述射频电源、所述待测试阻抗匹配器和所述阻抗模拟器依次电连接,所述射频电源、所述待测试阻抗匹配器及所述阻抗模拟器分别与所述工控机电连接;所述工控机用于控制所述射频电源、所述阻抗模拟器和所述待测试阻抗匹配器按照阻抗匹配器的测试方法对所述待测试阻抗匹配器的工作性能进行测试;

所述阻抗模拟器包括电阻、多个可变阻抗调节单元和多个驱动装置,所述可变阻抗调节单元与所述电阻电连接;多个所述可变阻抗调节单元与多个所述驱动装置一一对应,所述驱动装置用于调节所述可变阻抗调节单元的阻抗值。

在其中一个实施例中,所述阻抗模拟器还包括电压监测单元、信号控制板、驱动装置控制板;

所述电压监测单元的一端耦合至所述待测试阻抗匹配器,所述电压监测单元的另一端与所述可变阻抗调节单元电连接,所述电压监测单元用于监控所述待测试阻抗匹配器的输出电压;

所述信号控制板的一端与所述电压监测单元电连接,所述信号控制板的另一端与所述驱动装置控制板电连接,所述信号控制板用于当所述待测试阻抗匹配器的输出电压超出安全范围时关闭所述驱动装置;

所述驱动装置控制板与多个所述驱动装置电连接,用于控制所述驱动装置的启动和关闭。

在其中一个实施例中,所述阻抗模拟器包括三个可变阻抗调节单元,分别为第一可变阻抗调节单元、第二可变阻抗调节单元和第三可变阻抗调节单元;

所述第一可变阻抗调节单元的一端与所述电压监测单元电连接,所述第一可变阻抗调节单元的另一端串联所述电阻后接地,所述第二可变阻抗调节单元的一端连接至所述电压监测单元与第一可变阻抗调节单元的相应公共端,所述第二可变阻抗调节单元的另一端接地;所述第三可变阻抗调节单元的一端连接所述第一可变阻抗调节单元与所述电阻的相应公共端,所述第三可变阻抗调节单元的另一端接地。

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