[发明专利]高频电磁场条件下的束缚等离子体聚集器及采用该聚集器实现的聚集方法

权利要求书

1.高频电磁场条件下的束缚等离子体聚集器，其特征在于，它包括真空腔体、高频电磁信号发生器(1)、两个真空泵系统(2)、谐振器(4)、电磁线圈(6)和等离子体发生器(7)，

所述等离子体发生器(7)位于真空腔体的一端，真空腔体另一端设有一个真空泵系统(2)，另一个真空泵系统(2)位于真空腔体中部，在两个真空泵系统(2)之间设有两个谐振器(4)，每个谐振器(4)的谐振腔分别通过管道与高频电磁信号发生器(1)的电磁信号发送端连通，在真空腔体外缠绕有多组电磁线圈(6)。

2.根据权利要求1所述的高频电磁场条件下的束缚等离子体聚集器，其特征在于，它还包括多重网格分析器(3)，

所述多重网格分析器(3)位于真空腔体的另一端，用于检测从真空腔内射出的等离子体的参数。

3.根据权利要求1所述的高频电磁场条件下的束缚等离子体聚集器，其特征在于，它还包括静电探针(5)，

所述静电探针(5)位于两个谐振器(4)之间的真空腔的内部，用于检测真空腔体内等离子体的密度。

4.采用权利要求1所述的束缚等离子体聚集器实现高频电磁场条件下的束缚等离子体的聚集方法，其特征在于，

首先采用两个真空泵系统(2)将密封腔内的气压抽成真空，然后采用等离子体发生器(7)向腔内喷射等离子，采用高频电磁信号发生器(1)和多个电磁线圈(6)使腔内等离子体在高频微波信号和电磁场的作用下产生高频电磁场，利用两个谐振器(4)来调整高频电磁场的基本参数，等离子聚集在两个谐振器(4)内。

5.根据权利要求4所述的采用束缚等离子体聚集器实现高频电磁场条件下的束缚等离子体的聚集方法，其特征在于，所述束缚等离子体聚集器还包括多重网格分析器(3)，所述多重网格分析器(3)位于真空腔体的另一端；

所述多重网格分析器(3)用来检测聚集的高频等离子体的参数。

6.根据权利要求4所述的采用束缚等离子体聚集器实现高频电磁场条件下的束缚等离子体的聚集方法，其特征在于，所述束缚等离子体聚集器还包括静电探针(5)，所述静电探针(5)位于两个谐振器(4)之间的真空腔的内部，

所述静电探针(5)用来检测真空腔内的等离子体密度，如果所述密度低于设定的等离子体密度，则改变谐振器(4)的频率调整高频电磁场的基本参数，使得等离子体密度等于设定密度。