[发明专利]一种防止高压水雾喷溅的CUP结构

权利要求书

1.一种防止高压水雾喷溅的CUP结构，其特征在于：包括CUP本体、排风接口(2)、上端盖(4)、开门机构(5)、液管(7)、底板(9)、晶圆卡盘(11)、喷嘴(12)、电机(14)及驱动机构，其中CUP本体安装在所述底板(9)上，在所述CUP本体内设有承载晶圆(13)的晶圆卡盘(11)，该晶圆卡盘(11)通过安装在所述底板(9)上的电机(14)驱动旋转；所述驱动机构安装在CUP本体外的底板(9)上，所述液管(7)通过该驱动机构的驱动进行移动，所述上端盖(4)安装在CUP本体上，该上端盖(4)上沿所述液管(7)的移动轨迹开有孔(27)，该孔(27)为条形孔，所述液管(7)由该孔(27)插入所述CUP本体内、并安装有所述喷嘴(12)；为所述液管(7)提供高压液体的供液源位于CUP本体外，所述高压液体经液管(7)通过喷嘴(12)喷洒到所述晶圆(13)表面；所述CUP本体上分别设有供取放所述晶圆(13)的开门机构(5)以及供抽走CUP本体内水雾的排风接口(2)；

所述CUP本体分为可折卸的CUP底座(1)及上层CUP(3)，该CUP底座(1)安装在所述底板(9)上，所述上层CUP(3)的下端与所述CUP底座(1)相连，所述上端盖(4)安装在所述上层CUP(3)的上端；

所述驱动机构的输出端连接有臂提升机构(10)，所述臂提升机构(10)的输出端连接有固定支撑臂(6)的一端，所述固定支撑臂(6)的另一端插入CUP本体内；所述液管(7)安装在固定支撑臂(6)上，液管(7)的一端与所述供液源连通，所述喷嘴(12)位于液管(7)的另一端；

所述驱动机构为摆臂机构(8)，包括电缸(23)及转接板(24)，所述臂提升机构(10)为气缸(25)，该电缸(23)安装在所述CUP本体外的底板(9)上，所述电缸(23)的输出端连接有转接板(24)，所述气缸(25)安装在该转接板(24)上，所述固定支撑臂(6)的一端与气缸(25)的输出端相连、由所述气缸(25)驱动升降；

所述开门机构(5)包括摆动气缸(15)、取片窗口(16)、门挡板(17)及框架(26)，该摆动气缸(15)通过框架(26)安装在所述CUP本体上，所述门挡板(17)位于框架(26)内、并与所述摆动气缸(15)的输出端相连，所述框架(26)上开有取片窗口(16)，该取片窗口(16)通过由摆动气缸(15)驱动的门挡板(17)实现开关，所述晶圆(13)通过该取片窗口(16)取放。

2.按权利要求1所述防止高压水雾喷溅的CUP结构，其特征在于：所述上层CUP(3)及上端盖(4)的材料均为透明的ECTFE。

3.按权利要求1所述防止高压水雾喷溅的CUP结构，其特征在于：所述排风接口(2)对称分布在CUP底座(1)轴向截面的两侧。

4.按权利要求1所述防止高压水雾喷溅的CUP结构，其特征在于：为所述CUP结构提供排风的厂务端设有排风气液分离机构，包括气液分离盒(18)、CUP排风口(19)、厂务排风口(20)及液位传感器(22)，该CUP排风口(19)及厂务排风口(20)分别安装在所述气液分离盒(18)上，所述CUP排风口(19)通过排风管与所述排风接口(2)相连通，所述厂务排风口(20)与所述厂务端连通，在所述气液分离盒(18)上安装有监测气液分离盒(18)内液面(21)高度的液位传感器(22)。