[发明专利]具有含氧化物涂层的涂层刀具及其制备方法

权利要求书

1.一种具有含氧化物涂层的涂层刀具，包括刀具基体和沉积于刀具基体上的含氧化物涂层，其特征在于：所述含氧化物涂层包括沉积于刀具基体上的Me_1-xAl_xN底层和沉积于Me_1-xAl_xN底层上的V₂O₅/Al₂O₃周期性涂层；所述Me_1-xAl_xN底层中，Me为Ti或Cr中的一种，当Me为Ti时，0≤x≤0.66，当Me为Cr时，0≤x≤0.70，所述Me_1-xAl_xN底层的晶体结构为面心立方结构；所述V₂O₅/Al₂O₃周期性涂层是以V₂O₅层和Al₂O₃层为调制周期的多周期涂层，所述V₂O₅层的单层厚度为10nm～200nm，所述Al₂O₃层的单层厚度为10nm～200nm。

2.根据权利要求1所述的具有含氧化物涂层的涂层刀具，其特征在于：所述Me_1-xAl_xN底层中，当Me为Ti时，0.30≤x≤0.66，当Me为Cr时，0.30≤x≤0.70。

3.根据权利要求1所述的具有含氧化物涂层的涂层刀具，其特征在于：所述含氧化物涂层的总厚度为1.5μm～8μm。

4.根据权利要求3所述的具有含氧化物涂层的涂层刀具，其特征在于：所述含氧化物涂层的总厚度为2μm～6μm。

5.根据权利要求1所述的具有含氧化物涂层的涂层刀具，其特征在于：所述Me_1-xAl_xN底层的厚度为1μm～4μm。

6.根据权利要求5所述的具有含氧化物涂层的涂层刀具，其特征在于：所述Me_1-xAl_xN底层的厚度为1μm～3μm。

7.根据权利要求1所述的具有含氧化物涂层的涂层刀具，其特征在于：所述V₂O₅/Al₂O₃周期性涂层的总厚度为0.5μm～4μm。

8.根据权利要求7所述的具有含氧化物涂层的涂层刀具，其特征在于：所述V₂O₅/Al₂O₃周期性涂层的总厚度为0.5μm～3μm。

9.根据权利要求1所述的具有含氧化物涂层的涂层刀具，其特征在于：所述V₂O₅层的单层厚度为50nm～150nm。

10.根据权利要求1所述的具有含氧化物涂层的涂层刀具，其特征在于：所述Al₂O₃层的单层厚度为50nm～150nm。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的具有含氧化物涂层的涂层刀具，其特征在于：所述含氧化物涂层与所述刀具基体之间还设有过渡层，所述过渡层为Me_1-xAl_x金属层。

12.根据权利要求11所述的具有含氧化物涂层的涂层刀具，其特征在于：所述过渡层的厚度为30nm～100nm。

13.根据权利要求12所述的具有含氧化物涂层的涂层刀具，其特征在于：所述过渡层的厚度为30nm～50nm。