[发明专利]一种微通道散热器及由其组成的微机电产品散热系统装置

权利要求书

1.一种微通道散热器，采用流固共轭传热，其特征在于：所述微通道散热器包括左端盖、右端盖和微通道散热器基体，微通道散热器基体左右两端加工出矩形凹槽，然后与左端盖、右端盖之间进行装配，并连接固定，微通道散热器基体开有若干条矩形微通道，左右端盖上分别设有冷却流体进口和冷却流体出口。

2.如权利要求1所述的一种微通道散热器，其特征在于：所述连接固定指通过低温钎料片连接固定。

3.如权利要求1所述的一种微通道散热器，其特征在于：所述冷却流体指纳米流体，纳米流体体积分数不超过10%，纳米粒子直径不超过100nm。

4.如权利要求3所述的一种微通道散热器，其特征在于：所述纳米流体包括Al₂O₃-水、CuO-水和Cu-水纳米流体。

5.如权利要求1所述的一种微通道散热器，其特征在于：所述微通道散热器基本结构尺寸宽度×长度（W×L）与要求散热的元器件尺寸相适应。

6.如权利要求1所述的一种微通道散热器，其特征在于：所述微通道散热器的微通道高度H_c取值范围应为2~6mm；微通道底面厚度H_b取值范围应为0.1~1mm；微通道壁面厚度W_w取值范围应为0.1~1mm；通道宽度W_c取值范围应为0.1~0.5mm。

7.如权利要求1所述的一种微通道散热器，其特征在于：所述微通道散热器的微通道个数                                                。

8.如权利要求1所述的一种微通道散热器，其特征在于：所述微通道散热器固体基质采用金属铜或铝；对于绝缘性要求高的系统，固体基质采用硅。

9.由如权利要求1所述的一种微通道散热器组成的微机电产品散热系统装置，其特征在于：该装置由储液池，微型泵，微过滤器，微通道散热器，回流阀和管路组成；储液池、微型泵、微过滤器、微通道散热器和储液池之间依次通过管路连接，微型泵的管路出口与储液池之间还设有旁通回路，旁通回路上设有回流阀。

10.如权利要求9所述的微机电产品散热系统装置，其特征在于：所述微型泵指用于微型电子产品水冷散热，电脑芯片水冷散热的压电微型水泵。