[发明专利]一种丝网印刷返工硅片的处理方法

权利要求书

1.一种丝网印刷返工硅片的处理方法，其特征在于：采用如下步骤：

a. 用有机溶剂对硅片表面印刷的金属浆料进行均匀的擦拭；

b. 将步骤a中擦拭后的硅片放入混酸溶液中清洗；

c. 将步骤b中清洗过的硅片放入超纯水中进行冲洗；

d．将步骤c中冲洗后的硅片放入超纯水中进行喷淋水洗；

e. 将喷淋水洗后的硅片烘干；

f . 烘干后的硅片重新进行丝网印刷；

其中步骤c，步骤d可重复多次进行。

2.根据权利要求1所述的一种丝网印刷返工硅片的处理方法，其特征在于：所述步骤a中的有机溶剂包括酒精、松油醇或异丙酮。

3.根据权利要求1所述的一种丝网印刷返工硅片的处理方法，其特征在于：所述步骤a中的金属浆料包括银铝浆、银浆或铝浆。

4.根据权利要求1所述的一种丝网印刷返工硅片的处理方法，其特征在于：所述步骤b中的混酸溶液由由盐酸、硝酸和水混合而成，混酸溶液中盐酸的质量百分比浓度为3-20%，硝酸的质量百分比浓度为15-55%，盐酸和硝酸的质量百分比浓度之和不大于超过65%。

5.根据权利要求1或4所述的一种丝网印刷返工硅片的处理方法，其特征在于：所述步骤b中将硅片放入混酸溶液中清洗3-20 min，混酸溶液的温度为8-45℃。

6.根据权利要求1所述的一种丝网印刷返工硅片的处理方法，其特征在于：所述步骤c中硅片放入超纯水冲洗2-7min。

7.根据权利要求1所述的一种丝网印刷返工硅片的处理方法，其特征在于：所述步骤d中硅片放入超纯水喷淋水洗2-5min。

8.根据权利要求1所述的一种丝网印刷返工硅片的处理方法，其特征在于：所述步骤e中将喷淋水洗后的硅片放入烤箱中烘干8-25min，烤箱温度控制在80-110℃。