[发明专利]一种温度连续可调型点接触式气敏湿敏测试腔

说明书

技术领域

本发明涉及气敏、湿敏传感器测试技术领域，具体涉及一种温度连续可调型点接触式气敏、湿敏测试腔。 

背景技术

一个人每天呼吸约15立方米空气，每立方米空气约重1.3公斤，相当于一个人每天需要吸入20公斤重的空气，这个数量是一个人每天喝水量的十多倍。近年来，随着生产和生活方式的现代化发展，更多的工作和文娱、体育活动都可在室内进行，人们平均每天有80％甚至更多的时间在室内度过，因此室内空气质量与人的生命健康有着密切的关系。 

根据国家标准，评估室内空气质量的主要参数有二氧化硫(SO2)、二氧化氮(NO2)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO2)、氨气(NH3)、笨(C6H6)等空气污染物的含量；同时，室内空气的相对湿度(Relative Humidity)也作为评估的重要参数。在室内空气质量检测中，气体传感器与湿度传感器作为快速有效的分析手段，具有可实时测量、体积小、响应快、价格低及耗能少等特点；同时运用以气体和湿度传感器为核心器件的遥感监控系统，可对室内环境的空气质量进行实时、远程监测。鉴于此，亟待研究和发展高灵敏度、高选择、高稳定、快响应的气体和湿度传感器。 

在气体和湿度传感器的研发过程中，快速、准确、简单、方便、安全有效地对研制的原型元件进行敏感性能测试至关重要。一般情况 下，气敏、湿敏原型元件的性能测试不是在真实的大气环境下进行的，而是在性能测试腔中完成的，因此，设计并制备性能优良的测试腔可在很大程度上推动元件研制的顺利进行。从目前的报道来看，大多数气敏或湿敏测试腔存在功能单一的问题，如：不能同时对多个元件进行测试，不能提供多种温度测试环境，只能针对固定电极尺寸的元件进行测试，在测试前需要对原型元件进行复杂的引线封装等。如申请号为201120561722.6的实用新型专利公开了一种气敏特性动态测试系统测试室，包括上盖、主腔体、下盖、支架，测试室主体，所述支架上设有下盖，所述上盖与下盖之间设有测试室主体，所述测试室主体的上顶面和下底面分别设有密封槽，所述测试室主体的两侧壁分别设有进气口和出气口，所述进气口和出气口分别与主腔体相通。但该测试腔不能提供多种测试温度环境，且不具备电学连接装置，待测敏感元件需要先引线再测试。申请号为201210566058.3的发明专利公开了一种半导体微纳单晶气敏传感器测试系统，将制备好的SnO₂单晶纳米带场效应晶体管固定在芯片底座上，单晶纳米带场效应晶体管的各个电极与芯片底座上的电极相连；在IC电路板上焊接测试芯片转换座和排针，使测试芯片转换座的各个针孔和排针一一对应并且导通；IC电路板固定在固定支架上；外接信号输出端口和排针相连，外接信号输出端口和固定支架固定在盲板上,将以上完成连接的组件密封固定在测试腔体中；将测试腔体分别与进气系统气体流量监控及组分调控单元尾气回收系统以及通过外接信号输出端口与半导体电学测试系统相连接。该系统只针对SnO2单晶纳米带场效应管的测 试，该气敏元件在测试之前需要将电极连接在芯片底座上，然后将芯片底座安装在具有芯片转换座的IC电路板上，最后将IC电路板固定在测试腔内并完成IC电路板与测试腔内引线的连接后才能测试，操作较为复杂。鉴于此，本申请在传统测试腔的基础上进行了改进，提出了一种温度连续可调型点接触式气敏/湿敏测试腔。 

发明内容

针对上述现有技术的不足，本发明的目的为提供一种温度连续可调型点接触式气敏湿敏测试腔，该测试腔可在较大温度范围内同时对多个成品或未封装气敏湿敏原型元件进行性能测试，适用于多种电极尺寸，并且可用于多种有毒、腐蚀性气体的测试。本发明可解决现有气敏湿敏测试腔存在的不能同时对多个待测敏感元件进行测试、不能提供多种温度环境、只针对固定电极尺寸元件应用、元件测试前需要复杂的引线封装等问题。 

本发明为了实现上述目的，采用以下技术方案： 

一种温度连续可调型点接触式气敏、湿敏测试腔，其特征在于：包括测试腔主体和温控模块，测试腔主体包括腔体、与腔体适配的腔盖，腔体侧壁连接有引出线、用于输送测试气体的进气管和出气管，引出线与设置于腔体内的动触片连接，测试时动触片的凸点与放入腔体内的待测敏感元件的电极接触。