[发明专利]基于微透镜阵列的激光扩束匀光器

权利要求书

1.一种基于微透镜阵列的激光扩束匀光器，其特征在于所述激光扩束匀光器依次由位于同一直线上的第一级微透镜阵列、可变光阑和第二级微透镜阵列构成，三者的屏边平行，组成共轴系统；其中，可变光阑距第一级微透镜阵列和第二级微透镜阵列的距离分别为f和d-f，f为微透镜阵列的后焦距，d为第一级微透镜阵列和第二级微透镜阵列之间的距离。

2.根据权利要求1所述的基于微透镜阵列的激光扩束匀光器，其特征在于所述第一级微透镜阵列和第二级微透镜阵列的微透镜元参数相同。

3.根据权利要求2所述的基于微透镜阵列的激光扩束匀光器，其特征在于所述微透镜元直径p＝150μm，微透镜阵列的后焦距f＝6.7mm。

4.根据权利要求1所述的基于微透镜阵列的激光扩束匀光器，其特征在于所述第一级微透镜阵列、可变光阑和第二级微透镜阵列满足以下条件：

其中，D₁为第一级微透镜阵列的直径，D₂为可变光阑的最大直径，D₃为第二级微透镜阵列的直径。

5.根据权利要求1、2或4所述的基于微透镜阵列的激光扩束匀光器，其特征在于所述第一级微透镜阵列的直径D₁＝10mm，第二级微透镜阵列的直径D₃＝60mm，第一级微透镜阵列和第二级微透镜阵列之间的距离d＝35mm。

6.根据权利要求1或4所述的基于微透镜阵列的激光扩束匀光器，其特征在于所述可变光阑的最大直径D₂＝12.5mm。