[发明专利]在线纯化和循环空调检漏废氦气的设备

权利要求书

1.在线纯化和循环空调检漏废氦气的设备，其特征在于：包括有废氦气回收单元、纯化单元、循环供气单元，其中：

所述废氦气回收单元包括带进、出口的缓冲罐、回收增压泵，所述缓冲罐进气口通过进气管路与外部多个空调检漏生产线相连，缓冲罐出气口通过出气管路与回收增压泵的入口连通，回收增压泵的出口通过气体管路连通至纯化单元；

所述纯化单元包括吸附纯化器、膜分离纯化器、三通阀门，废氦气回收单元中回收增压泵出口处的气体管路连通至吸附纯化器的进口，吸附纯化器的出口通过气体管路连通至膜分离纯化器的进口，膜分离纯化器的出口通过回气管路连通至循环供气单元，膜分离纯化器上还通过尾气排气管路与三通阀门的一个阀口连通，三通阀门另一个阀口通过气体管路连通至废氦气回收单元中的缓冲罐，三通阀门最后一个阀口放空；

所述循环供气单元包括供气增压泵，膜分离纯化器出口处的回气管路连通至供气增压泵的入口，供气增压泵的出口通过气体管路连通至空调检漏生产线中的纯氦储气罐，且供气增压泵出口处的气体管路上安装有压力调节阀。

2.根据权利要求1所述的在线纯化和循环空调检漏废氦气的设备，其特征在于：缓冲罐进气口处的进气管路上安装有气体流量计，膜分离纯化器出口处的回气管路上亦安装有气体流量计。

3.根据权利要求1所述的在线纯化和循环空调检漏废氦气的设备，其特征在于：缓冲罐出气口处的出气管路上安装有氦气纯度分析器，膜分离纯化器出口处的回气管路上亦安装有氦气纯度分析器。