[发明专利]基于cMUT环形阵列的微型光声传感器

权利要求书

1.一种基于cMUT环形阵列的微型光声传感器，包括外壳（4）在其顶部和中部设有固定层（3），在固定层（3）的顶部设有光纤头（6），光纤头（6）上插有光纤（7），其特征在于：在固定层（3）的中央设置有透镜（8），在固定层（3）之下设置有黏合着cMUT环形阵列探头（13）的基底（2），其中光纤头（6）、透镜（8）、cMUT环形阵列探头（13）和基底（2）同轴设置，在基底（2）底端内部设有cMUT阵元（1），所述cMUT阵元（1）包含有矩阵排列的震动膜（11），每个震动膜（11）通过导线（12）与电极（10）连接，cMUT阵元（1）与信号线（5）连接。

2.根据权利要求1所述的一种基于cMUT环形阵列的微型光声传感器，其特征在于：所述cMUT环形阵列探头（13）为中空的平面阵列，cMUT环形阵列探头（13）的中空内环设有透光保护膜（9），基底（2）内设有cMUT阵元（1）。

3.根据权利要求2所述的一种基于cMUT环形阵列的微型光声传感器，其特征在于：所述的电极（10）与信号线（5）连接，其中信号线（5）穿过固定层（3）和外壳（4）。

4.根据权利要求3所述的一种基于cMUT环形阵列的微型光声传感器，其特征在于：所述光纤头（6）、透镜（8）、cMUT环形阵列探头（13）和透光保护膜（9）的中心都位于同一中轴线上，一体化封装于外壳（4）内，构成一体化的同轴共焦结构。