[发明专利]一种用于制备LED的退火炉管腔体

说明书

技术领域

本发明涉及一种退火炉管，具体是一种用于制备LED的退火炉管腔体。

背景技术

退火是一种金属热处理工艺，指的是将金属缓慢加热到一定温度，保持足够时间，然后以适宜速度冷却。

在LED制程中，退火处理是一道必经的程序，不仅可以实现金属电极与半导体良好的欧姆接触；而且可以降低芯片硬度，改善切削加工性；消除芯片内部残余的应力，稳定尺寸，减少变形与裂纹倾向；细化晶粒，调整组织，消除组织缺陷。目前使用的LED退火炉管，存在以下缺点（1）由于圆柱形腔体内壁是光滑的，在炉管腔体中取放治具时，治具容易发生倾斜，导致治具中的芯片掉落破碎；（2）由于腔门为不锈钢腔门，作业过程中不能随时观察腔体内的情况，不利于制程。

发明内容

针对上述现有技术存在的问题，本发明提供一种用于制备LED的退火炉管腔体，该腔体不仅可以在取放治具时稳定治具，使产品在取放过程中不易发生破碎，同时可随时监控腔体内制程过程，保证产品正常作业，提高产品的生产良率。 

    为了实现上述目的，本发明采用的技术方案是：一种用于制备LED的退火炉管腔体，包括主腔体和腔门，主腔体为圆柱形石英空心腔，还包括石英治具和卡片；卡片设置有一对，并以过主腔体圆心的竖直线为中心线，对称的设置在主腔体内壁上，卡片的长度为主腔体长度的1/2～2/3；石英治具放置在主腔体中，石英治具两侧通过卡片卡设；腔门为石英腔门，腔门上设置有小孔。                   

本发明的有益效果是：在主腔体内侧设置对称的卡片，用于卡设石英治具，防止取放石英治具时治具发生倾斜，导致芯片破碎损失；腔门使用石英材质，以使作业过程中可透过腔门看到腔体内部，既能保证拉钩拉取石英治具时不会撞到产品，也可随时观察腔体内的制程情况，保证产品正常作业，提高产品的生产良率。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

图中：1、主腔体，2、石英治具，3、卡片，4、腔门，5、小孔。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步说明。

如图1所示，一种用于制备LED的退火炉管腔体，包括主腔体1和腔门4，主腔体1为圆柱形石英空心腔，还包括石英治具2和卡片3；卡片3设置有一对，并以过主腔体1圆心的竖直线为中心线，对称的设置在主腔体1内壁上，卡片3的长度为主腔体1长度的1/2～2/3；石英治具2放置在主腔体1中，石英治具2两侧通过卡片3卡设；腔门4为石英腔门，腔门4上设置有小孔5。

进一步，卡片3的长度为主腔体1长度的1/2。

进一步，小孔5为方形孔。 

对LED芯片进行退火处理时，先将待处理的芯片放入石英治具2中，打开腔门4，将石英治具2放入主腔体1的腔口位置，石英治具2两侧通过卡片3使其稳固，然后关闭腔门4，当退火炉管达到预先设定的预热温度时，使用拉钩通过小孔5向主腔体1内部推动石英治具2，由于拉钩上刻有石英治具2在主腔体1中具体位置的记号，因此当拉钩上的记号到达腔门4时，表示石英治具2被推入到合适的位置，再取出拉钩，此时由于腔门4为石英腔门，因此可以透过其看到主腔体1中的制程状况；制程结束后，再次使用拉钩通过小孔5向主腔体1外部拉动石英治具2，使其位于主腔体1的腔口位置，取出拉钩后打开腔门4即可取出石英治具2。

上述卡片3也可以设置有多对，满足不同大小的石英治具2，只需相邻两对卡片3之间的竖直距离略大于卡片3的高度即可。