[发明专利]压印方法、压印装置和器件制造方法

权利要求书

1.一种用于压印装置的压印方法，所述压印方法包括：

在基板上供给压印材料，其中所述基板包括压射区域以及在所述压射区域中的具有基板标记的图案；

使具有图案区域和模具标记的模具与压印材料接触；

通过使用光学系统检测模具标记和基板标记来执行对准；

在模具与压印材料接触的状态下固化压印材料；

通过增大基板与模具之间的空间来在基板上形成压印材料的图案和通过转印的模具标记形成的压印材料的转印标记，以及

获得压射区域中的图案与形成到压印材料上的图案之间的相对位置偏差，

其中，在基板与模具之间的空间增大到模具标记位于所述光学系统的焦深之外之后，通过使用所述光学系统检测来自转印标记的光和来自基板标记的光，获得压射区域中的图案与形成到压印材料上的图案之间的相对位置偏差。

2.根据权利要求1所述的压印方法，

其中，在基板上布置多个压射区域，

其中，对于每个压射区域，在使模具与压印材料接触时执行了模具与基板之间的对准之后执行固化压印材料并且形成图案，以及

其中，当通过获得基板的压射区域中的图案与形成到压印材料上的图案之间的相对位置偏差来在所述多个压射区域中按顺序形成图案时，在前一压射区域中获得的基板的压射区域中的图案与形成到压印材料上的图案之间的相对位置偏差被用于后一压射区域中的模具与基板之间的对准。

3.根据权利要求2所述的压印方法，其中

当在前一压射区域中获得的基板的压射区域中的图案与形成到压印材料上的图案之间的相对位置偏差不在容许范围内时，停止后一压射区域中的图案形成。

4.根据权利要求1所述的压印方法，其中

当通过下述方式按顺序在多个基板上形成图案时，基板的压射区域中的图案与形成到压印材料上的图案之间的相对位置偏差被用于后一基板中的模具与基板之间的对准：

在使模具与压印材料接触时执行模具与压印材料之间的对准，

执行固化压印材料并且形成图案，然后

获得基板的压射区域中的图案与形成到压印材料上的图案之间的相对位置偏差。

5.根据权利要求1所述的压印方法，

其中，模具包括图案表面，图案区域被形成在所述图案表面上，以及

其中，在增大了基板与模具之间的空间之后，在平行于图案表面的方向上移动模具，然后检测转印标记和基板标记。

6.根据权利要求1至5中的任何一个所述的压印方法，其中

在基板标记位于光学系统的焦深内的状态下，执行增大基板与模具之间的空间的操作。

7.一种器件制造方法，包括：

通过使用根据权利要求1至5中的任何一个所述的压印方法在基板上形成到压印材料上的图案；以及

通过使用形成到压印材料上的图案对基板进行处理。