[发明专利]聚焦偏移位移传感器

权利要求书

1.一种聚焦偏移位移传感器，包括一壳体(1)，所述壳体(1)内连接有物镜(2)、成像镜、激光器、分光棱镜和光电位移探测器，其特征在于，所述激光器的数量为两个：激光器一(3)和激光器二(4)，所述成像镜的数量为两块：成像镜一(5)和成像镜二(6)，所述光电位移探测器的数量为两个：光电位移探测器一(7)和光电位移探测器二(8)，所述的分光棱镜的数量为两个：分光棱镜一(9)和分光棱镜二(10)，所述的物镜(2)位于壳体(1)的一侧，上述的物镜(2)、分光棱镜一(9)、分光棱镜二(10)、成像镜一(5)、光电位移探测器一(7)在壳体(1)内由右至左设置，上述的激光器一(3)和激光器二(4)均位于分光棱镜一(9)上部，所述激光器一(3)和激光器二(4)射出的激光相平行且上述两束激光能入射至所述的分光棱镜一(9)上，所述的光电位移探测器二(8)位于分光棱镜二(10)上部，上述成像镜二(6)位于光电位移探测器二(8)与分光棱镜二(10)之间。

2.根据权利要求1所述的聚焦偏移位移传感器，其特征在于，所述激光器一(3)发射的激光波长大于激光器二(4)发射的激光波长。

3.根据权利要求2所述的聚焦偏移位移传感器，其特征在于，所述的壳体(1)内还固连有两个反光镜：反光镜一(11)和反光镜二(12)，通过反光镜一(11)和反光镜二(12)的折射作用能将激光器二(4)发射的激光光束折射至分光棱镜一(9)处。

4.根据权利要求1所述的聚焦偏移位移传感器，其特征在于，所述的壳体(1)内具有导轨一(13)，上述导轨一(13)与激光器一(3)和激光器二(4)的连线方向相平行，上述的激光器一(3)连接于导轨一(13)上且能沿导轨一(13)平移，所述的激光器一(3)与壳体(1)内侧之间具有能将激光器一(3)定位在导轨一(13)上的定位机构。

5.根据权利要求4所述的聚焦偏移位移传感器，其特征在于，所述的激光器一(3)固连在一连接块(14)上，上述的连接块(14)与上述的导轨一(13)相连接且连接块(14)能沿导轨一(13)平移。

6.根据权利要求5所述的聚焦偏移位移传感器，其特征在于，所述的定位机构包括铰接在连接块(14)侧部的搭扣(15)和固连在壳体(1)内侧的齿条(16)，上述搭扣(15)与连接块(14)之间具有扣合弹簧(17)，在扣合弹簧(17)的弹力作用下搭扣(15)扣接在齿条(16)的相邻两齿牙之间。

7.根据权利要求1所述的聚焦偏移位移传感器，其特征在于，所述的定位机构包括固连在壳体(1)内侧且呈条状的定位条(18)和连接块(14)底部的定位孔(14a)，所述的定位条(18)与导轨一(13)平行设置且定位条(18)位于连接块(14)底部处，上述定位孔(14a)内具有定位弹簧(19)和圆珠(20)，所述定位条(18)上沿其轴向具有若干凹入的定位凹口(18a)，上述圆珠(20)在定位弹簧(19)的弹力作用下部分伸出定位孔(14a)且能嵌与上述的任意一个定位凹口(18a)。

8.根据权利要求1所述的聚焦偏移位移传感器，其特征在于，所述的壳体(1)内具有导轨二(21)，上述导轨二(21)与反光镜一(11)和反光镜二(12)的连线方向相平行，所述的反光镜一(11)与激光器一(3)发射的激光光束正对，上述的反光镜二(12)连接于导轨二(21)上且能沿导轨二(21)平移，所述的反光镜二(12)与壳体(1)内侧之间具有能将反光镜二(12)定位在导轨二(21)上的锁定机构。

9.根据权利要求8所述的聚焦偏移位移传感器，其特征在于，所述的反光镜二(12)固连在锁定块(22)上，上述的锁定块(22)位于导轨二(21)处且能沿导轨二(21)平移。

10.根据权利要求9所述的聚焦偏移位移传感器，其特征在于，所述的锁定机构包括固连在壳体(1)内侧且呈条状的锁定条(23)和锁定块(22)底部的锁定孔(22a)，所述的锁定条(23)与导轨二(21)平行设置且锁定条(23)位于锁定块(22)底部处，上述锁定孔(22a)内具有锁定弹簧(24)和锁定球(25)，所述锁定条(23)上沿其轴向具有若干凹入的锁定凹口(23a)，上述锁定球(25)在锁定弹簧(24)的弹力作用下部分伸出锁定孔(22a)且能嵌与上述的任意一个锁定凹口(23a)。