[发明专利]一种半导体封装载料装置及其应用的封装设备有效
申请号: | 201410228588.6 | 申请日: | 2014-05-28 |
公开(公告)号: | CN105225994B | 公开(公告)日: | 2018-03-20 |
发明(设计)人: | 吕明 | 申请(专利权)人: | 海太半导体(无锡)有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/56 |
代理公司: | 无锡市朗高知识产权代理有限公司32262 | 代理人: | 杨虹 |
地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 装载 装置 及其 应用 封装 设备 | ||
1.一种半导体封装载料装置,其特征在于,包括:
载料座,沿直线方向排列设有多组支柱,其中,每组包括至少两根支柱;并且,每两组支柱之间围成一个供载料的间隙;
支柱密封模块,套合于所述载料座上各组支柱,从所述支柱密封模块上端面向内形成有一一对位且连通于所述各间隙的多个中空通道;
盖子,固定于所述支柱密封模块上端,所述盖子具有一一对位且连通于所述各中空通道的多个供入料的进料口;
所述料为环氧树脂颗粒;
所述支柱密封模块是形成有所述各中空通道的一体成型的部件。
2.根据权利要求1所述的半导体封装载料装置,其特征在于,所述支柱密封模块包括多个形成有所述各中空通道的套筒。
3.一种半导体封装设备,其特征在于,包括:
如权利要求1至2所述的半导体封装载料装置;
装载并移动所述半导体封装载料装置的传送机构;
对应一一插入各所述进料口完成进料的接料装置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造