[发明专利]一种真空环境下复合材料尺寸变化量测量装置无效
| 申请号： | 201410229159.0 | 申请日： | 2014-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN104132611A | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 岳丽清;张继友;王向东 | 申请（专利权）人： | 北京空间机电研究所 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 安丽 |
| 地址： | 100076 北京市丰*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 环境 复合材料 尺寸 变化 测量 装置 | ||
1.一种真空环境下复合材料尺寸变化量测量装置，其特征在于：包括激光头(1)、真空罐(2)、光学窗口(3)、温控舱(4)、分光镜(5)、第一线性反射镜(6)、第二线性反射镜(7)、被测件(8)；激光头(1)放置于真空罐(2)外，在真空罐(2)的一侧开有光学窗口(3)，控温套(4)、分光镜(5)、第一线性反射镜(6)、第二线性反射镜(7)、被测件(8)均放置于真空罐(2)内；分光镜(5)、第一线性反射镜(6)、第二线性反射镜(7)、被测件(8)均放置在控温套(4)内；分光镜(5)、第一线性反射镜(6)、第二线性反射镜(7)均放置于被测件(8)上；激光头(1)、光学窗口(3)、分光镜(5)、第二线性反射镜(7)同轴放置；
激光头(1)出射的光束通过光学窗口(3)再经过分光镜(5)后分为两束，即反射的参考光束和透射的测量光束，反射的参考光束经第一线性反射镜(6)反射后回到分光镜(2)，透射的测量光束经过第二线性反射镜(7)反射后返回分光镜(2)，两束光在嵌于激光头(1)内的探测器中形成干涉光束；通过干涉条纹的变化获得被测件(8)的尺寸变化量。
2.根据权利要求1所述的一种真空环境下复合材料尺寸变化量测量装置，其特征在于：所述激光头(1)为雷尼绍XL-80激光干涉仪。
3.根据权利要求2所述的一种真空环境下复合材料尺寸变化量测量装置，其特征在于：所述光学窗口(3)玻璃为平面，面形精度的均方根不小于λ/6，峰谷值不小于λ/2，其中λ＝632.8nm。
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