[发明专利]弧形工作面氟橡胶真空吸嘴在审
| 申请号： | 201410229223.5 | 申请日： | 2014-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN105304545A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 关光武 | 申请（专利权）人： | 关光武 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L21/66 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518052 广东省深圳市南山区科技园*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 弧形 工作面 氟橡胶 真空 | ||
【权利要求书】：
1.一种弧形工作面氟橡胶真空吸嘴，该吸嘴主体由1、4包括弧形工作面5(弧高为10-15度)及真空通道7的端面圆形倒角6(倒角为5-10度)，及其工作原理是由传统的接触面变成接触线9(两端)的方式，弧形的展开面长、正方形单边尺寸比相对应的芯片单边尺寸大3-5微米组成。
2.根据权利要求1所述弧形工作面氟橡胶真空吸嘴，其特征在于：所述的弧形工作面氟橡胶真空吸嘴是由弧形工作面5(弧高为10-15度)。
3.根据权利要求1所述弧形工作面氟橡胶真空吸嘴，其特征在于：所述的弧形工作面氟橡胶真空吸嘴是由真空通道7的端面圆形倒角6(倒角为5-10度)。
4.根据权利要求1所述弧形工作面氟橡胶真空吸嘴，其特征在于：所述弧形工作面氟橡胶真空吸嘴其工作原理是由传统的接触面变成接触线的方式工作的。
5.根据权利要求1所述弧形工作面氟橡胶真空吸嘴，其特征在于：所述弧形工作面氟橡胶真空吸嘴，其设计尺寸为弧形的展开面为长、正方形，其单边比相对应的芯片单边尺寸大3-5微米。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
