[发明专利]一种四纤毛仿生MEMS矢量水声传感器微结构有效
| 申请号： | 201410232154.3 | 申请日： | 2014-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN104062632B | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 张国军;丑修建;刘俊 | 申请（专利权）人： | 苏州中盛纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | G01S5/20 | 分类号： | G01S5/20;B81B3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纤毛 仿生 mems 矢量 传感器 微结构 | ||
1.一种四纤毛仿生MEMS矢量水声传感器微结构，其特征在于，
包括采用MEMS微加工技术加工获得的正方形框架(5)和架设于所述正方形框架(5)中央的“井”字形悬梁臂(9)；
所述“井”字形悬梁臂(9)的各段梁由宽段(7)和对称设置于所述宽段两侧的窄段(8)组成，所述各段梁通过位于所述“井”字形悬梁臂(9)交叉点处的正方形连接体(6)连接；
所述窄段(8)上分别设置有阻值相等的压敏电阻(10)，所述压敏电阻(10)共形成两组惠斯通全桥，所述两组惠斯通全桥分别测量两个相互垂直方向上的水生信号；
所述位于“井”字形悬梁臂(9)交叉点处的各个正方形连接体(6)上均固定的设置有垂直纤毛。
2.根据权利要求1所述一种四纤毛仿生MEMS矢量水声传感器微结构，其特征在于，所述“井”字形悬梁臂(9)以任意点为坐标原点建立坐标系，沿其任意悬臂梁方向作为X方向，与所述X方向的垂直方向作为Y方向，在所述X方向，每个所述垂直纤毛两侧梁上的四个所述压敏电阻(10)构成一对惠斯通全桥差动电路，其中，每两个垂直纤毛间的梁上的所述压敏电阻(10)为共用电阻，总共形成四对惠斯通全桥；在所述Y方向上，所述压敏电阻(10)的连接方式与所述X方向的所述压敏电阻(10)的连接方式相同，形成另外四对惠斯通全桥，在XOY平面上共形成两组惠斯通全桥，分别用于检测所述X方向和所述Y方向的水声信号。
3.根据权利要求2所述一种四纤毛仿生MEMS矢量水声传感器微结构，其特征在于，所述垂直纤毛采用与水密度接近的材料制成。
4.根据权利要求2所述一种四纤毛仿生MEMS矢量水声传感器微结构，其特征在于，所述微结构的加工材料为SOI硅圆片。
5.根据权利要求1至4任意项所述一种四纤毛仿生MEMS矢量水声传感器微结构，其特征在于，所述压敏电阻(10)利用离子注入技术注入硼离子形成。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州中盛纳米科技有限公司，未经苏州中盛纳米科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410232154.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：分段相关单元、伪码测距装置及其方法
- 下一篇：锂离子动力电池配组方法
