[发明专利]半导体微波炉及其半导体微波源

权利要求书

1.一种半导体微波炉，其特征在于，包括：

本体，所述本体具有腔室；

波导盒，所述波导盒设置在所述本体上；

半导体微波源，所述半导体微波源包括：

信号源，所述信号源用于产生第一微波信号；

功率分配器，所述功率分配器具有第一输入端和N个输出端，所述功率分配器的第一输入端与所述信号源相连，所述功率分配器按照预设比例对所述第一微波信号的功率进行分配以生成N个频率相同的第二微波信号，所述N个频率相同的第二微波信号对应所述N个输出端进行输出，其中，N为大于等于2的整数；

N个驱动放大器，所述N个驱动放大器与所述N个输出端对应相连，每个所述驱动放大器用于将对应的第二微波信号进行驱动放大；

功率合成器，所述功率合成器具有N个输入端和第一输出端，所述N个输入端与所述N个驱动放大器对应相连，所述功率合成器用于将N个驱动放大后的第二微波信号合成为第三微波信号，并通过所述第一输出端进行输出；

微波转换装置，所述微波转换装置与所述第一输出端和所述波导盒分别相连，所述微波转换装置用于将所述第三微波信号馈入到所述波导盒中，以使所述第三微波信号传递到所述腔室中；

控制装置，所述控制装置用于控制所述信号源产生所述第一微波信号。

2.如权利要求1所述的半导体微波炉，其特征在于，所述功率分配器与所述功率合成器均可为T型结功率分配器、威尔金森功率分配器、波导魔T或定向耦合器中的任意一种。

3.如权利要求1所述的半导体微波炉，其特征在于，所述驱动放大器进一步包括：

驱动模块，所述驱动模块用于对所述第二微波信号进行驱动放大以生成第四微波信号；

放大模块，所述放大模块与所述驱动模块相连，所述放大模块用于对所述第四微波信号进行二次放大以生成第五微波信号。

4.如权利要求3所述的半导体微波炉，其特征在于，所述第一微波信号的功率大于所述第二微波信号的功率，所述第四微波信号的功率大于所述第二微波信号的功率，所述第五微波信号的功率大于所述第四微波信号的功率，所述第三微波信号的功率大于所述第五微波信号的功率，且所述第三微波信号的功率大于所述第一微波信号的功率。

5.如权利要求1-4中任一项所述的半导体微波炉，其特征在于，所述半导体微波源还包括：

N个移相器，所述N个移相器对应连接在所述N个输出端和所述N个驱动放大器之间，其中，每个所述移相器在所述控制装置的控制下对所述N个输出端中相应的输出端输出的第二微波信号进行相位调节。

6.如权利要求5所述的半导体微波炉，其特征在于，所述移相器为PIN二极管移相器、铁氧体移相器、矢量调制移相器、加载线式移相器或开关线式移相器中的任意一种。

7.一种半导体微波炉的半导体微波源，其特征在于，包括：

信号源，所述信号源用于产生第一微波信号；

功率分配器，所述功率分配器具有第一输入端和N个输出端，所述功率分配器的第一输入端与所述信号源相连，所述功率分配器按照预设比例对所述第一微波信号的功率进行分配以生成N个频率相同的第二微波信号，所述N个频率相同的第二微波信号对应所述N个输出端进行输出，其中，N为大于等于2的整数；

N个驱动放大器，所述N个驱动放大器与所述N个输出端对应相连，每个所述驱动放大器用于将对应的第二微波信号进行驱动放大；

功率合成器，所述功率合成器具有N个输入端和第一输出端，所述N个输入端与所述N个驱动放大器对应相连，所述功率合成器用于将N个驱动放大后的第二微波信号合成为第三微波信号，并通过所述第一输出端输出至所述半导体微波炉的微波转换装置；

其中，所述信号源在所述半导体微波炉的控制装置的控制下产生所述第一微波信号。

8.如权利要求7所述的半导体微波炉的半导体微波源，其特征在于，所述功率分配器与所述功率合成器均可为T型结功率分配器、威尔金森功率分配器、波导魔T或定向耦合器中的任意一种。

9.如权利要求7所述的半导体微波炉的半导体微波源，其特征在于，所述驱动放大器进一步包括：

驱动模块，所述驱动模块用于对所述第二微波信号进行驱动放大以生成第四微波信号；

放大模块，所述放大模块与所述驱动模块相连，所述放大模块用于对所述第四微波信号进行二次放大以生成第五微波信号。