[发明专利]磁性连接装置有效

专利信息
申请号: 201410235862.2 申请日: 2014-05-30
公开(公告)号: CN105261575B 公开(公告)日: 2020-07-28
发明(设计)人: 杨宏超;金一诺;张怀东;王坚;王晖 申请(专利权)人: 盛美半导体设备(上海)股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 陆嘉
地址: 201203 上海市浦东新*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 磁性 连接 装置
【权利要求书】:

1.一种磁性连接装置,其特征在于,该磁性连接装置用于驱动沿导轨移动的一负载,其中该磁性连接装置包括:

丝杆,丝杆沿平行于导轨的方向布置;

连接杆,连接杆的第一端固定在丝杆上;

磁性部件,安装在连接杆的第二端,磁性部件能吸附在负载上;

感应装置,感应装置感应磁性部件是否吸附在负载上。

2.如权利要求1所述的磁性连接装置,其特征在于,所述感应装置包括感应片和传感器,所述感应片安装在磁性部件上,所述传感器安装在负载上;

当磁性部件吸附在负载上时,感应片被传感器所感知;

当磁性部件没有吸附在负载上时,感应片不被传感器所感知。

3.如权利要求2所述的磁性连接装置,其特征在于,

所述感应片为折线型,折线的第一段贴附在磁性部件上,所述传感器上具有一凹槽,所述凹槽的位置与折线的第二段对齐;

所述磁性部件吸附在负载上时,折线的第二段进入到所述凹槽中,所述传感器感知到感应片;

所述磁性部件没有吸附在负载上时,折线的第二段不进入到所述凹槽中,所述传感器不感应所述感应片。

4.如权利要求1-3中任一项所述的磁性连接装置,其特征在于,向磁性部件施加外力使得磁性部件吸附到所述负载上,所述感应装置感知磁性部件已经吸附在所述负载上,驱动所述丝杆,通过连接杆和磁性部件带动负载沿导轨移动。

5.如权利要求4所述的磁性连接装置,其特征在于,所述磁性部件是永磁体,所述外力是推动磁性部件靠近负载的力。

6.如权利要求4所述的磁性连接装置,所述磁性部件是电磁铁,所述外力是接通所述电磁铁的电路,电磁铁产生电磁力使得磁性部件吸附到所述负载上。

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