[发明专利]带有电极的喷头装置有效
申请号: | 201410235874.5 | 申请日: | 2014-05-30 |
公开(公告)号: | CN105297127B | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 金一诺;王坚;王晖 | 申请(专利权)人: | 盛美半导体设备(上海)有限公司 |
主分类号: | C25F3/30 | 分类号: | C25F3/30 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 施浩 |
地址: | 201203 上海市浦东新区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 带有 电极 喷头 装置 | ||
1.一种带有电极的喷头装置,其特征在于,包括:
绝缘基座,所述绝缘基座具有绝缘基体;
外电极,所述外电极固定并覆盖在所述绝缘基座的绝缘基体的内侧壁及顶壁,所述外电极具有贯穿外电极的收容腔;
外绝缘遮盖,所述外绝缘遮盖包括中空的绝缘管体及由绝缘管体顶端部的外侧壁向外延伸形成的绝缘盖体,所述绝缘管体收容于所述外电极的收容腔并伸出该收容腔外,所述绝缘盖体位于固定在所述绝缘基体顶壁的外电极的上方,所述绝缘管体的内侧壁围成的通道被定义为主流体通道,所述绝缘管体的外侧壁与所述外电极的内侧壁之间间隔一定距离,形成辅助流体通道;
内电极,所述内电极设置在所述外绝缘遮盖的绝缘管体内;
内绝缘遮盖,所述内绝缘遮盖罩设在所述内电极的外围,所述内绝缘遮盖的顶端低于所述外绝缘遮盖的绝缘管体的顶端;
排液槽,所述排液槽收集具有气泡的抛光液;及
绝缘导流管,所述绝缘导流管将内电极产生的气泡排至排液槽。
2.根据权利要求1所述的带有电极的喷头装置,其特征在于,所述内电极为管状结构,内电极的顶端和底端贯通,所述绝缘导流管固定在内电极的内侧壁,且绝缘导流管伸出内电极外,绝缘导流管与排液槽连接。
3.根据权利要求1所述的带有电极的喷头装置,其特征在于,所述内电极为管状结构,内电极的顶端和底端贯通,所述绝缘导流管包裹在内电极的外侧壁,绝缘导流管与排液槽连接。
4.根据权利要求1所述的带有电极的喷头装置,其特征在于,所述外电极和内电极并联连接同一电源的阴极。
5.根据权利要求1所述的带有电极的喷头装置,其特征在于,所述外电极和内电极各自连接一电源的阴极。
6.根据权利要求1所述的带有电极的喷头装置,其特征在于,所述外绝缘遮盖的绝缘管体开设有若干斜向的通孔,每一通孔靠近外电极的一端口的水平高度高于与该端口相对的另一端口的水平高度。
7.根据权利要求1所述的带有电极的喷头装置,其特征在于,所述内绝缘遮盖的侧壁开设有若干斜向的穿孔,每一穿孔靠近内电极的一端口的水平高度高于与该端口相对的另一端口的水平高度。
8.根据权利要求1所述的带有电极的喷头装置,其特征在于,所述内电极、内绝缘遮盖、绝缘管体、外电极及绝缘基体为同心的圆柱形的管状结构。
9.根据权利要求1所述的带有电极的喷头装置,其特征在于,所述内绝缘遮盖的顶端封闭,内绝缘遮盖的底端具有开口。
10.根据权利要求1所述的带有电极的喷头装置,其特征在于,所述内电极为棒状结构并位于绝缘导流管内,所述绝缘导流管与排液槽连接。
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