[发明专利]制备非晶态透明氧化锌薄膜的方法有效
| 申请号： | 201410242295.3 | 申请日： | 2014-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN104004990A | 公开（公告）日： | 2014-08-27 |
| 发明（设计）人： | 王咸海;洪瑞金;脱文刚;张大伟;陶春先 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人： | 郁旦蓉 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 晶态 透明 氧化锌 薄膜 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种制备非晶态透明氧化锌薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：
衬底清洗：依次使用丙酮、无水乙醇、去离子水清洗衬底后放入磁控溅射室样品架上；
设置重金属掺杂：取钼丝固定在锌靶上，钼丝分布形状为圆心辐射状，钼掺杂量控制在0.5-10％范围内；
抽取真空：将所述磁控溅射室抽真空；
调节溅射气氛：分别以氧气和氩气作为反应气体和溅射气体输入所述磁控溅射室，氧气纯度为99.99％，氩气纯度在99.95％以上，氧气流量与氩气流量的比值控制在3：2至4：1之间；
磁控溅射生长：使用60W的溅射功率，在0.8pa、室温条件下，先对所述锌靶预溅射5min，然后进行反应溅射生长钼掺杂的氧化锌薄膜。
2.根据权利要求1所述的制备非晶态透明氧化锌薄膜的方法，其特征在于：
其中，所述氧气的流量为30～80sccm之间，所述氩气流量控制为20sccm。
3.根据权利要求1所述的制备非晶态透明氧化锌薄膜的方法，其特征在于：
其中，抽取真空步骤中抽真空所达到的真空度为2×10-4Pa以上。
4.根据权利要求1所述的制备非晶态透明氧化锌薄膜的方法，其特征在于：
其中，所述氩气的工作气压为10-2～10-1Pa。
5.根据权利要求1所述的制备非晶态透明氧化锌薄膜的方法，其特征在于：
其中，所述衬底可以选自石英、玻璃、晶体、塑料和硅片中的任意一种。
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