[发明专利]薄膜图案的制作方法及基板结构在审
申请号: | 201410242822.0 | 申请日: | 2011-10-21 |
公开(公告)号: | CN103984205A | 公开(公告)日: | 2014-08-13 |
发明(设计)人: | 王伯贤;吴易骏;蔡忠仁;陈威晟 | 申请(专利权)人: | 联胜(中国)科技有限公司;胜华科技股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 511700 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 薄膜 图案 制作方法 板结 | ||
1.一种薄膜图案的制作方法,包括:
提供一第一介质基材,该第一介质基材上形成有一绝缘的离型膜;
在该离型膜上形成一薄膜图案;
提供一暂存基材以及一接合层;
以该接合层接合于该暂存基材与该薄膜图案之间;
转移该薄膜图案及该离型膜至该暂存基材上;
提供一第二介质基材以及一黏着层;
以该黏着层贴附于该离型膜与该第二介质基材之间;以及
转移该薄膜图案与该离型膜至该第二介质基材上。
2.如权利要求1所述的薄膜图案的制作方法,进一步在该第一介质基材与离型膜之间涂布一离型剂。
3.如权利要求1或2所述的薄膜图案的制作方法,其中该薄膜图案由硬质的该第一介质基材转移至该暂存基材,再由该暂存基材转移至硬质的该第二介质基材。
4.如权利要求3所述的薄膜图案的制作方法,其中该暂存基材是一软质的暂存基材。
5.如权利要求1所述的薄膜图案的制作方法,其中在该第一介质基材上形成含有聚亚酰胺材质的离型膜。
6.一种薄膜图案的制作方法,包括:
提供一第一介质基材,该第一介质基材上形成有一绝缘的离型膜;
在该离型膜上形成一薄膜图案;
提供一第二介质基材以及一黏着层;
以该黏着层贴附于该薄膜图案与该第二介质基材之间;以及
转移该薄膜图案及该离型膜至该第二介质基材上。
7.如权利要求6所述的薄膜图案的制作方法,进一步在该第一介质基材与离型膜之间涂布一离型剂。
8.如权利要求6或7所述的薄膜图案的制作方法,其中在该第一介质基材上形成含有聚亚酰胺材质的离型膜。
9.一种基板结构,包括:
基板单元;
薄膜图案,配置于该基板单元上;
绝缘的离型膜,配置于该薄膜图案与该基板单元之间;以及
黏着层,接合该离型膜与该基板单元。
10.如权利要求9所述的基板结构,还包括:
接合层,接合于该离型膜上;
暂存基材,接合于该接合层上。
11.如权利要求9或10所述的基板结构,该离型膜的材质为含有聚亚酰胺的材质。
12.如权利要求9或10所述的基板结构,其中该基板单元由一基板劈裂或切割后各自分离形成,而该基板单元的边缘具有劈裂或切割结构。
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