[发明专利]物理气相淀积机台及其冷却腔体有效
| 申请号： | 201410243215.6 | 申请日： | 2014-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN103981504A | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 何德安;朱卫东 | 申请（专利权）人： | 上海先进半导体制造股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 徐洁晶 |
| 地址： | 200233 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 物理 气相淀积 机台 及其 冷却 | ||
1.一种物理气相淀积机台的冷却腔体，包括腔体盖子、光电感应器、升降环和冷却基座；所述光电感应器安装于所述腔体盖子上；所述升降环通过一升降臂向下与一气缸相连接，所述气缸具有升起位置传感器和释放位置传感器，用于判断所述升降环是处于升起位置还是释放位置；所述升降环上承载有一硅片，所述光电感应器向下对准所述硅片；所述冷却基座位于所述硅片的下方；
其中，所述光电感应器用于向其下方的所述硅片发射一束红外线光束，遇到所述硅片时所述红外线光束被反射回来；当所述硅片被正确放置在所述升降环上时，反射回来的所述红外线光束能被所述光电感应器接收到，所述光电感应器导通，所述升降环允许载着所述硅片从所述升起位置降到所述释放位置；否则，所述光电感应器不导通，所述机台停止运行。
2.根据权利要求1所述的冷却腔体，其特征在于，所述光电感应器上施加有一24伏的工作电压。
3.根据权利要求2所述的冷却腔体，其特征在于：
所述升起位置传感器的一端与所述光电感应器串联后，与一24伏的工作电压相连接，所述升起位置传感器的另一端接地；
所述释放位置传感器的一端直接与一24伏的工作电压相连接，另一端接地。
4.根据权利要求3所述的冷却腔体，其特征在于，所述光电感应器安装于所述腔体盖子上的边缘或者中心。
5.一种物理气相淀积机台，具有冷却腔体，所述冷却腔体包括腔体盖子、光电感应器、升降环和冷却基座；所述光电感应器安装于所述腔体盖子上；所述升降环通过一升降臂向下与一气缸相连接，所述气缸具有升起位置传感器和释放位置传感器，用于判断所述升降环是处于升起位置还是释放位置；所述升降环上承载有一硅片，所述光电感应器向下对准所述硅片；所述冷却基座位于所述硅片的下方；
其中，所述光电感应器用于向其下方的所述硅片发射一束红外线光束，遇到所述硅片时所述红外线光束被反射回来；当所述硅片被正确放置在所述升降环上时，反射回来的所述红外线光束能被所述光电感应器接收到，所述光电感应器导通，所述升降环允许载着所述硅片从所述升起位置降到所述释放位置；否则，所述光电感应器不导通，所述机台停止运行。
6.根据权利要求5所述的物理气相淀积机台，其特征在于，所述光电感应器上施加有一24伏的工作电压。
7.根据权利要求6所述的物理气相淀积机台，其特征在于：
所述升起位置传感器的一端与所述光电感应器串联后，与一24伏的工作电压相连接，所述升起位置传感器的另一端接地；
所述释放位置传感器的一端直接与一24伏的工作电压相连接，另一端接地。
8.根据权利要求7所述的物理气相淀积机台，其特征在于，所述光电感应器安装于所述腔体盖子上的边缘或者中心。
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