[发明专利]液体内吸附传输方法无效
申请号: | 201410243628.4 | 申请日: | 2014-06-03 |
公开(公告)号: | CN103985630A | 公开(公告)日: | 2014-08-13 |
发明(设计)人: | 刘海珊;孙红喆;王维熙 | 申请(专利权)人: | 天津源天晟科技发展有限公司 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人: | 王丽英 |
地址: | 300457 天津市塘沽区天津经济技术*** | 国省代码: | 天津;12 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 液体 吸附 传输 方法 | ||
技术领域
本发明涉及液体内吸附传输方法,尤其涉及一种针对轻薄物体在液体环境中传输的方法。
背景技术
太阳能硅片(以下简称硅片)自动清洗过程中,需要将硅片浸泡在清洗液中并连续向前传输以实现逐级净化及连续自动化生产。
由于硅片长宽及厚度比例接近800:1,对水比重2.3,这种比例造成硅片在液体中时如单纯依靠其本身重力与驱动轮接触将不能提供足够的接触压力,驱动轮与硅片间摩擦力不足以可靠驱动硅片运动,因此当其在液体中传输时会出现漂移移位或传送效率低的情况。
针对这种情况一般的做法是在硅片的上方安装压紧惰轮以增加硅片与下方驱动轮之间的接触压力,从而增大两者间摩擦力以保证可靠传输。但是由于硅片轻薄易碎,这种通过挤压接触的方式很容易造成硅片碎裂,造成较高的碎片率,增加了硅片清洗环节的成本。
发明内容
本发明的目的在于克服已有技术的缺点,提供一种不会使被吸附物破碎的液体内吸附传输方法。
本发明的液体内吸附传输方法,它包括以下步骤:
被吸附物清洗过程中,与被吸附物运动方向垂直设置并安装在清洗槽中的多排驱动轮轴在外部驱动装置驱动下旋转并带动安装在驱动轮轴上的驱动轮组以相同的速度向前转动,放置在多个驱动轮组上的被吸附物在与驱动轮组之间摩擦力的作用下随驱动轮组向前运动,所述的多个驱动轮组设置在清洗槽的清洗液液面以下;与此同时清洗槽中的清洗液经过设置在每一个驱动轮组侧面的吸附管的上口由清洗槽向下流入清洗槽下方的集液槽,然后被集液槽中的循环泵吸入通过回流管流回清洗槽,由此造成吸附管上口与被吸附物之间的区域压强降低,被吸附物上下表面产生压差形成吸附力使被吸附物吸附在驱动轮组上,所述的吸附管上口低于被吸附物设置。
本发明的有益效果是:被吸附物表面无压力接触机构,没有损伤被吸附物的风险,同时可以根据被吸附物厚度不同,调节水流,实现吸力调整,有规律,有数据可控。
附图说明
图1是实现本发明液体内吸附传输方法的装置的俯视图;
图2是本发明图1所示的装置的主向剖视图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步说明。
本发明的液体内吸附传输方法,它包括以下步骤:被吸附物2清洗过程中,与被吸附物运动方向垂直设置并安装在清洗槽1中的多排驱动轮轴在外部驱动装置驱动下旋转并带动安装在驱动轮轴上的驱动轮组3以相同的速度向前转动,放置在多个驱动轮组上的被吸附物在与驱动轮组之间摩擦力的作用下随驱动轮组向前运动,所述的多个驱动轮组设置在清洗槽的清洗液液面以下;与此同时清洗槽1中的清洗液经过设置在每一个驱动轮组3侧面的吸附管4上口由清洗槽1向下流入清洗槽1下方的集液槽7,然后被集液槽7中的循环泵8吸入通过回流管6流回清洗槽1,由此造成吸附管4上口与被吸附物2之间的区域压强降低,被吸附物上下表面产生压差形成吸附力使被吸附物吸附在驱动轮组3上,所述的吸附管4上口低于被吸附物设置。
集液槽7被放置于清洗槽1下方,注入液体并达到规定液面,以液面完全浸没循环泵以保正其正常工作为宜,清洗槽1中液面为5,吸附管4为中空管,液面5与集液槽液面9之间存在高度差,这样在重力作用下液体经过吸附管4由清洗槽1向下流入集液槽7,重力势能转换为液体流动动能,液体由吸附管4上口流入,这种吸入作用造成吸附管4上口与被吸附物2之间的区域压强降低,由此造成被吸附物上下表面产生压差,形成吸附力,在吸附力作用下被吸附物与驱动轮之间的接触压力变大,作为传动驱动力的摩擦力变大,从而使得被吸附物传输过程中与驱动轮之间无打滑现象,被吸附物运动方向及姿态稳定。
如附图所示作为实现本发明方法的一种装置,本发明的液体内吸附传输装置,它包括清洗槽1,在所述的清洗槽1下方安装有集液槽,在所述的清洗槽1内安装有多个彼此之间平行设置的驱动轮轴,所述的驱动轮轴的设置方向与被吸附物运动方向垂直设置,在每一个驱动轮轴上安装有驱动轮组,驱动轮组3设置在清洗液液面以下,驱动轮轴在外部驱动装置驱动下旋转并带动驱动轮组3以相同速度向前运动,在每一个驱动轮轴的侧面均安装有一个吸附管4,所述的吸附管上口位于被吸附物的下方,低于被吸附物设置并且吸附管穿过清洗槽1槽底插入集液槽内,在所述的集液槽内安装有循环泵,所述的循环泵的出口与回流管的入口相连,所述的回流管的出口与清洗槽1相连通。
本发明具体应用针对太阳能硅片的清洗及加工过程,也可扩展应用至其他针对轻薄物体的液体内传输过程。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津源天晟科技发展有限公司,未经天津源天晟科技发展有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410243628.4/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种卫星地球站载波动态监测系统
- 下一篇:一种三工位隔离开关
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造