[发明专利]基于高频光电导衰减法的少子寿命测试仪

说明书

技术领域

本发明适用于高校等科研单位和相关中小型公司测试硅片少子寿命的仪器。

背景技术

随着现在信息时代电子行业的飞速发展，集成电路生产厂商对半导体材料的质量有了更高的要求，少子寿命作为半导体材料的重要参数之一，其值的大小直接与半导体器件的性能相关。对半导体材料的少子寿命值进行测量，可以根据少子寿命值对半导体材料的性能进行评估，而且在半导体材料器件的生产过程中，可以在生产工艺中测量少子寿命值，对半导体器件的质量进行监控，进而优化生产工艺。因此，现在科研部门及半导体厂商对于少子寿命的测量也更加重视起来。

少子寿命的测试一直是国内外半导体行业十分重视的课题之一。我国半导体少子寿命的测量，从研究测试方法及设备到生产寿命测试仪器，已有近50年的历史，曾小批量生产过一些型号的高频光电导衰减寿命测试仪，产品各有优缺，但总体性能不佳。国外少子寿命测试仪已经发展的较为成熟，型号繁多，原理也多种多样，创新性很高，再结合计算机技术，控制操作简便，分析科学合理，适合于各种不同场合的少子寿命测试，但是，对于国内的小型实验室和半导体厂商而言，这些设备过于昂贵，性价比不高。

少子寿命测试的主要方法可以分为两大类，其中较为常用的是直接测试法，就是利用各类光源或脉冲注入，使半导体材料处于非平衡状态，然后通过测量半导体材料的电阻率的变化而测试出少子寿命值。另外一类是间接测量法，使用起来较为繁琐，使用者较少，就是使半导体材料处于两次不同的稳定状态，通过测量相关的物理参数，由两次测量的数据，经过理论计算，得出最后的少子寿命。

在国内外经常使用的较为成熟的技术中，直流光电导衰减法要求从硅单晶上切取长方形样品，并在其两端制作电极，很不方便。而采用高频光电导衰减法可以直接对大尺寸的硅单晶样品进行测试，并且不需要制作接触电极，也不会对单晶硅造成损伤，很好的弥补了直流光电导衰减法的不足之处。微波光电导衰减法不仅仅需要强光脉冲，还需要微波发生器，虽然测试也较为方便，但是其成本要远高于其他方法。准稳态光电导法是一种间接方法，因此还需要测量硅片样品的其它参数，才能通过数学推导计算，得出少子寿命值。因此，这种方法较为麻烦，而在实际应用中，测量参数有误差，用多个有误差的参数计算，会使结果相对于真实结果有较大的偏移，精度较差。正因如此，国内外大多采用高频光电导衰减法来测量少子寿命。

发明内容

本发明目的是为了解决目前国外少子寿命测试仪对于国内的小型实验室和半导体厂商而言，过于昂贵，性价比较低，国内的少子寿命测试仪精度不佳，以及高校缺乏相关设备的问题，提供了一种基于高频光电导衰减法的少子寿命测试仪。

本发明所述基于高频光电导衰减法的少子寿命测试仪，它包括高频信号发生电路、样品台、光源同步控制电路、峰值检波电路、仪表放大电路、高速ADC采集模块和PC机；

样品台上放置待测硅片，光源同步控制电路输出的光束照射在待测硅片上，样品台的一个极板连接高频信号发生电路的高频信号输出端，样品台的另一个极板连接峰值检波电路的输入端，峰值检波电路的输出端连接仪表放大电路的输入端，仪表放大电路的输出端与高速ADC采集模块的输入端，高速ADC采集模块的输出端连接PC机的输入端。

本发明的优点：本发明测量少子寿命值采用的原理是高频光电导衰减法，该方法技术成熟，成本低，测试精度较高，适合普通高校和中小企业测试，高速AD数据采集电路部分采用FPGA处理单元、高速AD数据采集芯片及USB高速数据通信，大大提高了系统灵敏性，减小了噪声干扰，降低了信号检测和处理电路的非线性，提高了少子寿命测试仪的性能，最终的数据处理由PC机处理完成，方便数据的整理及输出。

附图说明

图1是本发明所述基于高频光电导衰减法的少子寿命测试仪的原理框图；

图2是高频信号发生电路的具体电路图；

图3是样品台的具体结构及电路图；

图4是峰值检波电路的具体电路图；

图5是仪表放大电路的具体电路图。

具体实施方式

具体实施方式一：下面结合图1说明本实施方式，本实施方式所述基于高频光电导衰减法的少子寿命测试仪，它包括高频信号发生电路100、样品台101、光源同步控制电路102、峰值检波电路103、仪表放大电路104、高速ADC采集模块105和PC机106；