[发明专利]基于3ω法的薄层材料间接触热阻的测试方法

权利要求书

1.一种基于3ω法的薄层材料间接触热阻的测试方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤1：选择第一待测样品和第二待测样品的材料，选择一个与第二待测样品材料相同的第三待测样品；

步骤2：分别在第一待测样品和第二待测样品的一个面上设置加热测温金属线，如果第一待测样品或第二待测样品为金属材料则在其制作加热测温金属线的表面上先沉积一层绝缘薄膜；

步骤3：将第一待测样品含有加热测温金属线的面朝上放置在第三待测样品上构成接触热阻待测样品对，调整待测样品之间的接触压力至所要测量的压力值为止；

步骤4：将第一待测样品表面的加热测温金属线与电压测试单元相连；

步骤5：用3ω法测量待测样品对上第一待测样品表面的加热测温金属线两端的基波电压V_ω及三次谐波电压V_3ω，然后根据3ω法测试原理计算待测样品对的总热阻Z_a；

步骤6：将第二待测样品表面的加热测温金属线与电压测试单元相连；

步骤7：用3ω法测量第二待测样品表面的加热测温金属线两端的基波电压V_ω及三次谐波电压V_3ω，根据3ω法测试原理计算第二待测样品的热阻Z_b；

步骤8：第一待测样品和第三待测样品之间的接触热阻R_c通过待测样品对的总热阻Z_a减去第二待测样品的热阻Z_b以及第一待测样品的热阻R₁求得。

2.根据权利要求1所述的基于3ω法的薄层材料间接触热阻的测试方法，其特征在于：所述的第三待测样品外形状尺寸与第二待测样品相同。

3.根据权利要求1所述的基于3ω法的薄层材料间接触热阻的测试方法，其特征在于：所述的第一待测样品厚度小于1毫米，第二待测样品厚度大于第一待测样品厚度。

4.根据权利要求1所述的基于3ω法的薄层材料间接触热阻的测试方法，其特征在于：所述的第一待测样品和第二待测样品表面的绝缘薄膜厚度小于5微米。

5.根据权利要求1所述的基于3ω法的薄层材料间接触热阻的测试方法，其特征在于：所述的第一待测样品和第二待测样品表面的加热测温金属线材料和形状尺寸均相同。

6.根据权利要求1所述的基于3ω法的薄层材料间接触热阻的测试方法，其特征在于：所述的加热测温金属线通过沉积工艺附着在待测样品表面。

7.根据权利要求1所述的基于3ω法的薄层材料间接触热阻的测试方法，其特征在于：所述的加热测温金属线有四个引线端，其中里面两个引线端与电压测试单元的两个电压引线端通过导线连接，边缘两个引线端通过导线接入电压测试单元的另外两个电压引线端对加热测温金属线周期性电加热。