[发明专利]可测压比的嵌入式分子泵

说明书

技术领域

本发明属于一种分子泵，具体涉及一种可测压比的嵌入式分子泵。

背景技术

牵引分子泵是依靠气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，从而将气体分子驱送到泵的出口。

牵引式分子泵进出口压力的变化情况及压缩比（进出口压力的比值）能够直观地反应出该装置的工作状态和抽气性能，因此各级分子泵进出口压力的实时测量在该装置的研制过程中具有十分重要的意义。目前通用的分子泵设备仅能与装置串联后对其进行抽空，但其抽空效果较差，尤其是在某种转动部件需要高速旋转进而要求其周围压力极低的状态下时根本无法满足抽空要求，以致电机功率无法进一步降低。因此需要设计一套既可以测量具有特殊要求的分子泵例如嵌入装置内部的牵引式分子泵中各级分子泵进出口压力，又不破坏装置本身结构的分子泵。

发明内容

本发明是为了克服现有技术存在的缺陷而提出的，其目的是提供一种可测压比的嵌入式分子泵。

本发明的技术方案是：一种可测压比的嵌入式分子泵，包括壳体，在壳体内安装有转子，在壳体的顶部设置有端面法兰，在壳体和转子之间设置有第一级分子泵，第一级分子泵顶部过盈连接盘状第三级分子泵，在第三级分子泵的装配槽中过盈连接第二级分子泵，端面法兰和第三级分子泵螺钉连接，在壳体的下部外侧设置有入口测压装置，在端面法兰的顶端分别连接有第一级分子泵出口测压装置、第二级出口测压装置和第三级出口测压装置。

在所述的端面法兰上沿圆周形成均布的第一级测压连接孔、第二级测压连接孔和第三级测压连接孔，在上述连接孔的两侧形成螺孔。

所述的第一级分子泵为圆筒形，在圆形内壁形成螺旋导气槽，且呈右旋状态，螺旋导气槽截面呈“U”型槽，在第一级分子泵的顶端一侧形成异径孔状的第一级引压孔。

所述的第二级分子泵为圆盘形，在其下端面形成多个沿圆周均布的槽壁和抽气槽、并相间分布，在其圆周的外侧形成三个均布的第二级外圆豁口，在其圆周的内侧形成第二级内圆豁口。

所述的第三级分子泵为厚壁圆筒形，在其下部形成圆环形的装配槽，在其中间形成中心通孔，在中心通孔的内壁形成螺旋导气槽，且呈右旋状态，螺旋导气槽截面呈“U”型槽，其下端面形成多个沿圆周均布的槽壁和抽气槽、并相间分布，在装配槽内沿圆周形成均布的三个通孔。

第二级分子泵上的槽壁和第三级分子泵上的槽壁呈连续的放射状弧线、并互相对齐；第二级分子泵上的抽气槽和第三级分子泵上的抽气槽的槽型均为变宽度的矩形槽、呈连续的放射状弧线、并互相对齐。

所述的第一级分子泵出口测压装置、第二级出口测压装置和第三级出口测压装置结构相同，均由固定法兰、连接管和真空计底座组成。

本发明结构简单，易于加工和装配，圆柱台的设计与使用保证了第三级分子泵出口处测压的可行性，连接法兰的运用，解决了无法连续引压的难题，并且避免了引压过程中的断裂、漏气、堵塞等风险，端面法兰用测压组件的使用，解决了引压管由机器内部穿出而无法密封的问题，端面法兰上的引压位置以及测速线圈连接头位置的合理布局保证了离心机的正常装配，同时也保证了在正常工作时其安全保护装置能够正常工作不受影响。

附图说明

图1 是本发明的主视图（沿图2中A-A线剖面）；

图2 是本发明的俯视图；

图3 是本发明的未安装转子时的仰视图；

图4 是图2中沿B-B线的剖面的图；

图5 是本发明的端面法兰的俯视图；

图6 是第一级分子泵的示意图；

图7 是第二级分子泵的仰视图；

图8 是第三级分子泵的俯视图；

图9 是第三级分子泵的主视图（沿图8中C-C线剖面）；

图10 是第三级分子泵的仰视图；

图11 是图6、图9中沿D-D线的剖面；

图12 是图7、图10中沿E-E线的剖面；

图13 是连接法兰安装位置示意图；

图14 是带引压管的连接法兰示意图；

图15 是连接法兰结构示意图；

图16 是测压组件安装示意图；

图17 是测压组件结构示意图。

其中：

      1  壳体                2  转子

      3  端面法兰            4  第一级分子泵

      5  第二级分子泵        6  第三级分子泵  

      7  入口测压装置        8  第一级出口测压装置