[发明专利]压电装置及电子设备

权利要求书

1.一种压电装置，包括：

振子，包括：

第一表面，

其特征在于：

所述振子还包括：

在所述第一表面中沿第一轴方向形成的第一凹槽，以及

平行于所述第一凹槽在所述第一表面中形成的第二凹槽，所述压电装置还包括：

压电驱动单元，包括：

被设置在所述第一凹槽中并在第二轴方向彼此相对的第一电极对，所述第二轴方向正交于所述第一轴方向并平行于所述第一表面，以及

被设置在所述第一电极对之间的第一压电体，所述压电驱动单元被配置为能够由于在所述第一电极对之间的电压施加而使所述振子在平行于所述第一表面的平面中振动；以及第一压电检测器，包括：

被设置在所述第二凹槽中并在所述第二轴方向彼此相对的第二电极对，以及

被设置在所述第二电极对之间的第二压电体，所述第一压电检测器被配置为能够检测在平行于所述第一表面的平面中的所述振子的振动。

2.根据权利要求1所述的压电装置，其中，

所述振子进一步包括：

在正交于所述第一轴方向和所述第二轴方向的第三轴方向中与所述第一表面相对的第二表面；并且

所述第一凹槽被形成为具有从所述第一表面延伸到所述第二表面的深度以及包括被所述压电驱动单元覆盖的两个侧面部分。

3.根据权利要求1所述的压电装置，其中，

所述振子进一步包括：

在所述第一轴方向延伸并在所述第二轴方向布置的多个臂；并且

所述压电驱动单元和所述第一压电检测器每个都被设置在所述多个臂的至少一个臂中。

4.根据权利要求3所述的压电装置，其中，

所述多个臂包括：

第一臂和第二臂；并且

所述压电驱动单元被设置在所述第一臂和所述第二臂中的每个中，并且所述压电驱动单元被配置为能够使所述第一臂和所述第二臂在平行于所述第一表面的平面中以相反相位振动。

5.根据权利要求1所述的压电装置，其中，

所述振子进一步包括：

框体，包括：

一对第一梁，在所述第一轴方向延伸并在所述第二轴方向彼此相对；

一对第二梁，在所述第二轴方向延伸并在所述第一轴方向彼此相对，以及

在所述第一梁与所述第二梁之间连接的多个连接部；并且

所述压电驱动单元被设置在所述第一梁和所述第二梁中的至少一个梁中，使得所述框体以如下振动模式振动：当所述一对第一梁和所述一对第二梁中的一对梁彼此靠拢时，另一对梁彼此分开，以及当所述一对梁彼此分开时，所述另一对梁彼此靠拢。

6.根据权利要求1所述的压电装置，进一步包括：

支持部，被配置为支持所述振子；

耦接部，被配置为弹性耦接在所述振子与所述支持部之间，以及

电极结构，被设置在所述耦接部中，并被配置为能够静电检测在平行于所述第一表面的平面中所述振子相对于所述支持部的相对移动。

7.根据权利要求1所述的压电装置，进一步包括：

第二压电检测器，被设置在所述第一表面中并被配置为能够检测在垂直于所述第一表面的平面中的所述振子的振动。

8.根据权利要求7所述的压电装置，其中，

所述第二压电检测器包括：

第一电极层，被设置在所述第一表面中；

第二电极层，在垂直于所述第一表面的方向中与所述第一电极层相对，以及

压电层，被设置在所述第一电极层与所述第二电极层之间。

9.根据权利要求1所述的压电装置，其中，

所述第一凹槽包括彼此平行布置的多个凹槽，

所述第一电极对包括被设置在所述多个凹槽中并且彼此并联电连接的多个电极对，以及

所述第一压电体包括被设置在所述多个电极对之间的多个压电体。