[发明专利]一种层流等离子发生器阴极结构

权利要求书

1.一种层流等离子发生器阴极结构，其特征是：本阴极结构由阴极罩和阴极体组合而成，阴极体外径上加工有均匀的通气槽，与阴极罩的内通孔组合后形成一圈均布的小孔气流通道。

2.根据权利要求1所述的层流等离子发生器阴极结构，其扩展特征是：阴极体的外径和阴极罩的内孔可以有多种组合关系，阴极罩的内孔通道可以是直孔、锥孔、阶梯锥孔等有多种样式，相对应的阴极体的外圈尺寸与阴极罩的内孔是相互配合的。

3.根据权利要求1所述的层流等离子发生器阴极结构，其扩展特征是：阴极体可用材料复合的形式组成，内芯用钨或钨合金或石墨，外圈是其他材料通过挤压、镶嵌、钎焊等工艺与内芯结合，而通气槽是加工在外圈上。

4.根据权利要求1所述的层流等离子发生器阴极结构，其扩展特征是：通气槽的单个截面形状可以采用多种样式（如：三角形、半圆型、矩形、半椭圆等），通气槽可以是与中轴线平行的直槽，还可以是与外径母线呈一定的角度的螺旋通气槽，角度范围从0°~20°，优化后可以0°~8°。