[发明专利]一种声场和磁场耦合式高灵敏度的质量称重传感器

权利要求书

1.一种高灵敏度的声场和磁场耦合式质量称重传感器，包括封装好的质量称重传感器(1)，所述质量称重传感器的内部设有石英振荡电路，所述石英振荡电路的两个电极分别设置在所述质量称重传感器(1)顶部的石英传感器晶片(2)上下两面，其特征在于，在所述石英传感器晶片(2)的上表面和下表面分别镀有一层铬镀层(4)，在所述铬镀层(4)的表面上镀有一层金镀层(5)，所述质量称重传感器的内部还设有磁性装置(3)，所述磁性装置(3)位于所述石英传感器晶片(2)的正下方。

2.根据权利要求1所述声场和磁场耦合式高灵敏度的质量称重传感器，其特征在于，在所述传感器晶片(2)的上表面上的金镀层(5)的表面上镀有表面敏感镀层(6)。

3.根据权利要求2所述声场和磁场耦合式高灵敏度的质量称重传感器，其特征在于，所述表面敏感镀层(6)为铁磁镀层或铁磁颗粒，由金属单质、金属合金或有机磁性材料制成。

4.根据权利要求3所述声场和磁场耦合式高灵敏度的质量称重传感器，其特征在于，所述金属单质为铁、钴或镍。

5.根据权利要求3所述声场和磁场耦合式高灵敏度的质量称重传感器，其特征在于，所述金属合金为铁合金、钴合金或镍合金。

6.根据权利要求3所述声场和磁场耦合式高灵敏度的质量称重传感器，其特征在于，所述金属合金为AlNiCo或NdFeB。

7.根据权利要求1至6任一项所述声场和磁场耦合式高灵敏度的质量称重传感器，其特征在于，所述磁性装置(3)为永磁铁或电磁铁。