[发明专利]用于电子断层成像术的方法有效
申请号: | 201410247938.3 | 申请日: | 2014-06-06 |
公开(公告)号: | CN104224216B | 公开(公告)日: | 2017-07-28 |
发明(设计)人: | U.鲁伊肯;R.肖恩马克斯;J.A.M.安托纽斯 | 申请(专利权)人: | FEI公司 |
主分类号: | A61B6/03 | 分类号: | A61B6/03 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人: | 谢攀,刘春元 |
地址: | 美国俄*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 电子 断层 成像 方法 | ||
1.一种对样本(108)进行电子断层成像的方法,所述样本被安装在电子显微镜(100)中的样本支架(110)上,所述电子显微镜包括用于沿光轴(102)生成能量电子束的电子源(104),和用于使能量电子束聚焦以及偏转从而利用能量电子束辐射样本的光学元件(106、112、122、128-i),所述样本支架能够使样本相对于能量电子束定向以及倾斜,所述方法包括通过利用能量电子束辐射样本来获取图像的倾斜系列,每个图像是以相关联的独特倾斜角度获取的,以读出速度将所述图像记录在摄像机上,其特征在于,在所述摄像机连续获取图像的倾斜系列的同时连续地改变倾斜角度,并且连续地改变样本的位置以将样本保持在光轴上而无需为了稳定样本支架的位置损失时间。
2.根据权利要求1所述的方法,其中样本被成像在像素化摄像机(124)上,并且以度每秒表达的倾斜角度的速率和以帧每秒表达的摄像机的读出速度被匹配以使得在一帧期间由于倾斜改变而引起的图像位移小于一个像素。
3.根据权利要求2所述的方法,其中样本被成像在像素化摄像机(124)上,并且以度每秒表达的倾斜角度的速率和以帧每秒表达的摄像机的读出速度被匹配以使得在一帧期间由于倾斜改变而引起的图像位移小于半个像素。
4.根据前述权利要求中任意一项所述的方法,其中对倾斜的速率进行调节。
5.根据权利要求1所述的方法,其中形成倾斜系列的图像的偏移和/或转动校正被相对于彼此而应用。
6.根据权利要求5所述的方法,其中偏移和/或转动校正基于使用来自多于两个图像的数据的算法,以同时校正多个图像的相对位置。
7.根据权利要求5所述的方法,其中偏移和/或转动校正基于使用两个图像的数据的算法,以成对地校正相对位置。
8.根据权利要求5到7中任意一项所述的方法,其中偏移和/或转动校正基于图像中的一个或多个标记的位置。
9.根据权利要求1所述的方法,其中在倾斜系列的获取期间不改变用于聚焦的光学元件(106、112、122)的激励。
10.根据权利要求1所述的方法,其中在成像期间不改变光学元件(106、112、122、126-i)的激励,并且所述样本的位置通过使样本相对于光轴机械地运动而被连续地改变。
11.根据权利要求1所述的方法,其中在连续地改变倾斜角度的同时改变聚焦位置以将感兴趣的区域保持在适当位置和/或保持为焦点对准。
12.一种对样本(108)执行电子断层成像的设备,所述样本被安装在电子显微镜(100)中的样本支架(110)上,所述电子显微镜包括用于沿光轴(102)生成能量电子束的电子源(104),和用于使能量电子束聚焦以及偏转从而利用能量电子束辐射样本的光学元件(106、112、122、128-i),所述样本支架能够使样本相对于能量电子束定向以及倾斜,所述设备包括用于通过利用能量电子束辐射样本来获取图像的倾斜系列的装置,每个图像是以相关联的独特倾斜角度获取的,以读出速度将所述图像记录在摄像机上,其特征在于,在所述摄像机连续获取图像的倾斜系列的同时连续地改变倾斜角度,并且连续地改变样本的位置以将样本保持在光轴上而无需为了稳定样本支架的位置损失时间。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于FEI公司,未经FEI公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410247938.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。