[发明专利]一种氧化锆和氧化钇混合物陶瓷靶材的制备方法有效
| 申请号： | 201410250089.7 | 申请日： | 2014-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN103992109A | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | 邵玲;王广欣;赵学义 | 申请（专利权）人： | 昆山海普电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/48 | 分类号： | C04B35/48;C04B35/622 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫;汪青 |
| 地址： | 215311 江苏省苏州市昆山*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氧化锆 氧化钇 混合物 陶瓷 制备 方法 | ||
1. 一种氧化锆和氧化钇混合物陶瓷靶材的制备方法，其特征在于：包括依次进行的步骤如下：
（1）、将纯度均大于99.9%的ZrO2颗粒与Y2O3颗粒混合物采用ZrO2研磨球进行球磨混合，其中，所述的ZrO2颗粒占所述的混合物的质量分数为92%~94%，所述的Y2O3颗粒占所述的混合物的质量分数为6%~8%，球磨混合后的混合粉料的粒径为10 nm ~100nm；
（2）、对所述的混合粉料进行冷等静压成型，获得混合物陶瓷靶材的毛坯，所述的毛坯的体积密度为3.8 g/cm3~4.1 g/cm3；
（3）、将所述的毛坯进行高温烧结，获得混合物陶瓷靶材的素坯；
（4）、对所述的素坯进行机械加工，获得体积密度为5.2 g/cm3~5.4 g/cm3的所述混合物陶瓷靶材。
2. 根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤（1）中，所述的ZrO2颗粒与所述的Y2O3颗粒的粒径的大小均为200nm~300nm。
3. 根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤（1）中，所述的ZrO2研磨球的直径为Φ4.5~5.5mm，其成分为94%~95%的ZrO2和5% ~6% 的Y2O3。
4. 根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤（1）中，采用所述的ZrO2研磨球进行干法球磨混合，所述的ZrO2研磨球和所述的ZrO2颗粒与Y2O3颗粒混合物的质量比为1:1.5~2.5。
5. 根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤（1）中，所述的球磨混合在球磨罐中进行，所述的球磨混合时间为8~10小时，所述的球磨罐的转速为50~100r/min。
6. 根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤（2）中，所述的冷等静压成型的成型压力为40~150MPa，保压时间为30~240s。
7. 根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤（3）中，所述的高温烧结的烧结温度为1400℃~1650℃，高温保温时间为1~4h。
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