[发明专利]用于多重图案化组分配条件的布局检查系统

说明书

本发明提供了一种方法，包括从布局设计中提取一个或多个布局图案的多重图案化组分配信息。该布局设计对应于电路设计，而一个或多个布局图案对应于电路设计的节点。硬件处理器判断提取的多重图案化组分配信息是否符合节点的多重图案化组分配条件集。本发明还提供了一种布局检查系统。

技术领域

本发明总体涉及半导体领域，更具体地，涉及半导体多重图案化技术。

背景技术

在半导体制造工艺中，有时使用多重图案化技术来形成单层部件以提高该层的空间分辨率。例如，如果使用N重图案化工艺来制造一层部件，其中N是不小于2的正整数，则该层部件的布局图案被分配给与图案化工艺相对应的N个不同组。图案分配工艺有时通过电路设计师或布局设计师将布局图案手动分配给不同组来实现、通过以类似于解决图论中的染色问题的方式执行软件程序来实现，或者通过它们的组合来实现。

发明内容

根据本发明的一个方面，提供了一种方法，包括：从布局设计中提取一个或多个布局图案的多重图案化组分配信息，布局设计对应于电路设计，而一个或多个布局图案对应于电路设计的节点；以及通过硬件处理器来判断提取的多重图案化组分配信息是否符合节点的多重图案化组分配条件集。

优选地，该方法还包括：在判断提取的多重图案化组分配信息符合多重图案化组分配条件集之后，执行一个或多个依赖于布局的验证工艺。

优选地，该方法还包括：生成指示提取的多重图案化组分配信息是否符合多重图案化组分配条件集的判断结果的消息。

优选地，该方法中电路设计可以网表文件的形式被访问；以及该方法还包括：从修改后的网表文件中提取多重图案化组分配条件集，修改后的网表文件包括具有网表文件的内容的第一部分和具有多重图案化组分配条件集的第二部分。

优选地，该方法中网表文件的内容和修改后的网表文件的内容符合预定类型的网表语法；以及提取多重图案化组分配条件集包括根据预定类型的网表语法的注释格式来解析修改后的网表文件的第二部分。

优选地，该方法中网表文件的内容和修改后的网表文件的内容符合预定类型的网表语法；以及提取多重图案化组分配条件集包括根据预定类型的网表语法的参数格式来解析修改后的网表文件的第二部分。

优选地，该方法中电路设计可以网表文件的形式被访问；以及该方法还包括：从不同于网表文件的补充文件中提取多重图案化组分配条件集。

优选地，该方法中网表文件的内容符合预定类型的网表语法；以及从补充文件中提取多重图案化组分配条件集包括根据预定类型的网表语法或专有语法来解析补充文件。

优选地，该方法还包括：根据电路设计和多重图案化组分配条件集来生成布局设计。

根据本发明的另一方面，提供了一种布局检查系统，包括：非暂态存储介质，编码有指令集；以及硬件处理器，与非暂态存储介质通信连接并且被配置为执行指令集，以从布局设计中提取一个或多个布局图案的多重图案化组分配信息，布局设计对应于电路设计，而一个或多个布局图案对应于电路设计的节点；和判断提取的多重图案化组分配信息是否符合节点的多重图案化组分配条件集。

优选地，该布局检查系统中电路设计可以网表文件的形式被访问；以及当执行指令集时，硬件处理器还被配置为从修改后的网表文件中提取多重图案化组分配条件集，修改后的网表文件包括具有网表文件的内容的第一部分和具有多重图案化组分配条件集的第二部分。

优选地，该布局检查系统中网表文件的内容和修改后的网表文件的内容符合预定类型的网表语法；以及修改后的网表文件的第二部分符合预定类型的网表语法的注释格式。

优选地，该布局检查系统中网表文件的内容和修改后的网表文件的内容符合预定类型的网表语法；以及修改后的网表文件的第二部分符合预定类型的网表语法的参数格式。