[发明专利]多晶硅片制绒辅助剂及其应用有效
| 申请号： | 201410251488.5 | 申请日： | 2014-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN103993360A | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | 章圆圆;裴银强;陈发胜;史文龙 | 申请（专利权）人： | 常州时创能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213300 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 硅片 辅助剂 及其 应用 | ||
1.多晶硅片制绒辅助剂，其特征在于，按质量百分比计由以下组分组成：聚天冬氨酸：0.5%～1%，十二烷基苯磺酸钠：0.1%～0.5%，三乙醇胺：1%～5%，余量为水。
2.根据权利要求1所述的多晶硅片制绒辅助剂，其特征在于：所述水为去离子水。
3.用于多晶硅片制绒的制绒液，其特征在于，其含有酸溶液，以及权利要求1-2中任意一项的多晶硅片制绒辅助剂，所述多晶硅片制绒辅助剂与酸溶液的质量比为0.1～1.2:100；所述酸溶液中配入了5%～18%的HF水溶液和20%～45%的HNO3水溶液；所述HF水溶液中含有49%的HF，所述HNO3水溶液中含有69%的HNO3；其中，所述百分比为质量百分比。
4.多晶硅片的制绒方法，其特征在于，利用权利要求3所述的制绒液对多晶硅片进行表面制绒。
5.根据权利要求4所述多晶硅片的制绒方法，其特征在于，所述表面制绒的制绒温度为5～30℃，制绒时间为40～200s。
6.根据权利要求6所述多晶硅片的制绒方法，其特征在于，其具体步骤包括：
1）配制制绒辅助剂：将质量百分比为0.5%～1%的聚天冬氨酸、0.1%～0.5%的十二烷基苯磺酸钠、1%～5%的三乙醇胺加入到余量的水中，混合均匀配成制绒辅助剂；
2）配制制绒液：将步骤1）制成的制绒辅助剂加到酸溶液中，混合均匀配成制绒液；所述制绒辅助剂与酸溶液的质量比为0.1～1.2:100；所述酸溶液中配入了5%～18%的HF水溶液和20%～45%的HNO3水溶液；所述HF水溶液中含有49%的HF，所述HNO3水溶液中含有69%的HNO3；其中，所述百分比为质量百分比。
7.3）将多晶硅片浸入步骤2）制得的制绒液中进行表面制绒，制绒温度为5～30℃，制绒时间为40～200s。
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