[发明专利]SRAM版图的生成方法有效
申请号: | 201410253555.7 | 申请日: | 2014-06-09 |
公开(公告)号: | CN103996661B | 公开(公告)日: | 2017-02-08 |
发明(设计)人: | 马杰;刘梅;崔丛丛 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/8244 | 分类号: | H01L21/8244 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人: | 王宏婧 |
地址: | 201203 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | sram 版图 生成 方法 | ||
技术领域
本发明涉及半导体制造领域,尤其涉及一种SRAM版图的生成方法。
背景技术
SRAM(Static Random Access Memory,静态随机存储记忆体)是一种只要供电就保持数据的半导体存储器。SRAM具有低功耗、数据存取速度快且与CMOS逻辑工艺兼容等优点,广泛应用于各种电子器件中。因此,SRAM是任何一个半导体逻辑制程都不可缺少的部分。
基本的SRAM单元由两个交叉耦合的反相器和两个存取晶体管(通常为NMOS晶体管)构成,属于一个典型的六晶体管SRAM(6T SRAM)。具体的,SRAM可划分为第一反相器(Inverter)、第二反相器和两个NMOS晶体管(简称为NPASS),其中第一反相器由第一PMOS晶体管和第一NMOS晶体管组成,第二反相器由第二PMOS晶体管和第二NMOS晶体管组成,加上两个NMOS晶体管一共由六个晶体管(Transistor)组成。
传统SRAM版图的生成方法是通过软件分别对每一个晶体管进行生成,然后组合成SRAM。虽然传统SRAM版图的生成方法可以满足目前SRAM版图的设计要求,但是由于SRAM中有6个晶体管,并且每个晶体管均有多个尺寸需要定义,例如栅极尺寸、有源区尺寸、以及注入层和阱层的尺寸均需要定义,因此,传统的SRAM版图的生成方法效率不高,尤其当SRAM需要对尺寸进行修改的时候,需要改动的尺寸较多,这样人为操作经常会对SRAM版图的生成产生不必要的错误,并且耗费大量的时间和精力。
发明内容
本发明的目的在于提供一种SRAM版图的生成方法,能够归类相同的参数,实现SRAM版图的自动生成,提高效率。
为了实现上述目的,本发明提出了一种SRAM版图的生成方法,包括步骤:
定义第一反相器栅极的形状和尺寸;
由所述第一反相器栅极的形状和尺寸定义出第一反相器中的第一PMOS晶体管和第一NMOS晶体管有源区的形状和尺寸;
定义第一输入端NMOS栅极的形状和尺寸;
以所述第一输入端NMOS栅极的形状和尺寸定义出所述第一输入端NMOS有源区的形状和尺寸;
以所述第一输入端NMOS有源区的形状和尺寸定义出第一注入层和第一阱层的形状和尺寸;
使所述第一PMOS晶体管和第一NMOS晶体管的漏极连接在一起,使所述第一输入端NMOS和第一NMOS晶体管的有源区连接在一起,并且使所述第一输入端NMOS和第一NMOS晶体管的漏极也连接在一起,从而构成第一单元;
复制所述第一单元,旋转180度,形成第二单元;
使所述第一单元中的第一PMOS晶体管漏极和第二单元中的第二反相器栅极相连,使所述第二单元中的第二PMOS晶体管漏极和第一单元中的第一反相器栅极相连,从而生成SRAM版图。
进一步的,所述第一PMOS晶体管和第一NMOS晶体管的漏极通过通孔连线和金属连线连接在一起。
进一步的,所述第一输入端NMOS和第一NMOS晶体管的漏极通过通孔连线连接在一起。
进一步的,所述第一单元中的第一PMOS晶体管漏极和第二单元中的第二反相器栅极通过通孔连线相连。
进一步的,所述第二单元中的第二PMOS晶体管漏极和第一单元中的第一反相器栅极通过通孔连线相连。
进一步的,所述通孔连线均通过金属连线引出。
与现有技术相比,本发明的有益效果主要体现在:先形成第一单元,然后复制第一单元形成第二单元,连接第一单元和第二单元构成SRAM,把SRAM中相同的参数归类,可以实现SRAM版图的自动生成,从而能够高效完成不同尺寸大小SRAM版图的实现,简化SRAM版图的设计,从而降低人工设计版图过程中产生的错误率,并缩短SRAM版图实现时间。
附图说明
图1为本发明一实施例中SRAM版图的生成方法的流程图;
图2为本发明一实施例中第一单元的结构示意图;
图3为本发明一实施例中SRAM版图的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合示意图对本发明的SRAM版图的生成方法进行更详细的描述,其中表示了本发明的优选实施例,应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本发明,而仍然实现本发明的有利效果。因此,下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道,而并不作为对本发明的限制。
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