[发明专利]改善高功率固体激光器光束质量的装置有效
申请号: | 201410256222.X | 申请日: | 2014-06-11 |
公开(公告)号: | CN104009386B | 公开(公告)日: | 2017-12-22 |
发明(设计)人: | 杨盈莹;林学春;赵亚平;王宝华 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01S3/10 | 分类号: | H01S3/10;H01S3/081 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 改善 功率 固体激光器 光束 质量 装置 | ||
1.一种改善高功率固体激光器光束质量的装置,包括:
一激光器,该激光器输出光谱具有一定的宽度,非单频激光器;
N个反射镜,其位于激光器的光路上,分别接收激光器的光信号,N个反射镜分别与激光器的光路成一预定夹角,1≤N≤50;
一转换透镜,其位于N个反射镜折射的光路上;所述转换透镜具有聚焦功能,为聚焦透镜或者聚焦凹面镜;
一衍射光栅,其位于转换透镜透射或反射的光路上,该衍射光栅与转换透镜透射或反射的光路成一预定的夹角;
一输出耦合镜,其位于衍射光栅衍射的光路上;
激光器发出一束激光,包含多个波长,激光束被N个反射镜分为N份,通过转换透镜聚焦到衍射光栅上,衍射光栅将N份激光以平行的光束沿一级衍射的方向发射出来,入射到输出耦合镜上,该输出耦合镜反射一部分功率至光栅上,经光栅的二次反射后回到子光束各自的反射镜,再到激光器自身的输出镜,构成一个完整的谐振腔,每个子光束的谐振腔将会锁定一个波长,最后输出较高光束质量的激光。
2.根据权利要求1所述的改善高功率固体激光器光束质量的装置,其中N个反射镜与激光器光路的夹角为10-80度。
3.根据权利要求1所述的改善高功率固体激光器光束质量的装置,其中所述转换透镜为透射式和反射式透镜。
4.根据权利要求1所述的改善高功率固体激光器光束质量的装置,其中衍射光栅为体光栅或闪耀光栅。
5.根据权利要求4所述的改善高功率固体激光器光束质量的装置,其中衍射光栅的一级衍射效率为10%-99.99%。
6.根据权利要求1所述的改善高功率固体激光器光束质量的装置,其中衍射光栅与转换透镜透射的光路的夹角为大于0度且小于等于90度。
7.根据权利要求1所述的改善高功率固体激光器光束质量的装置,其中输出耦合镜的反射率为0.01%-99.99%。
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