[发明专利]压电振动片、压电器件及压电器件的制造方法在审
申请号: | 201410256413.6 | 申请日: | 2014-06-10 |
公开(公告)号: | CN104242857A | 公开(公告)日: | 2014-12-24 |
发明(设计)人: | 大桃亮太 | 申请(专利权)人: | 日本电波工业株式会社 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/15;H03H3/02 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 张洋 |
地址: | 日本东京涉谷区笹*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电 振动 器件 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种压电振动片、压电器件(piezoelectric device)及压电器件的制造方法。
背景技术
在移动终端或手机等电子设备中,搭载着压电振子(oscillator)或振荡器等压电器件。作为压电器件,是将晶体振动片等压电振动片收纳在包括盖体(lid)及基座(base)的封装体(package)内的腔(cavity)中而构成。此外,众所周知的是如下情况,即此种压电器件的压电振动片具有:激振电极,形成在中央部;及引出电极,从激振电极引出至一端侧的端部而形成;且该压电振动片至少在一端侧的两点、或该两点与另一端侧的1点的共计3点,经由粘结剂而接合在基座上(参照专利文献1)。
[背景技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]日本专利特开2008-206002号公报
发明内容
[发明所要解决的问题]
此外,在将压电振动片搭载在基座时,例如预先在压电振动片的规定部位涂布粘结剂,将该压电振动片与基座对准而将压电振动片接合在基座的处置位置。然而,在压电振动片由晶体等透明或半透明的材质形成的情况下,难以辨别压电振动片的外缘,从而难以确认压电振动片相对于基座的搭载位置。此外,如果压电振动片为透明,则当在压电振动片的规定部位涂布有粘结剂时,难以确认粘结剂的涂布量或涂布位置。其结果有如下问题,即存在压电振动片与基座的接合强度变得不充分的情况。
在专利文献1中,通过在压电振动片的表面形成激光(laser)光反射用的虚设图案(dummy pattem),而使用激光式位移传感器(displacement sensor)进行压电振动片的安装的检查。然而,专利文献1中公开的虚设图案并非为供辨识压电振动片的边部的图案,从而有如下问题,即难以确认压电振动片相对于基座的相对的面方向的搭载位置。此外,该虚设图案在涂布有粘结剂的情况下,不具有相对于粘结剂的相对的区域,所以也有难以确认所涂布的粘结剂的涂布量或涂布位置的问题。
鉴于如所述般的情况,本发明的目的在于提供一种压电振动片、包含该压电振动片的压电器件、及压电器件的制造方法,所述压电振动片除可容易地进行相对于基座的搭载位置的确认以外,在涂布有粘结剂时,还可容易地判别粘结剂的涂布位置及涂布量是否恰当。
[解决问题的技术手段]
本发明的压电振动片包括:激振电极,形成在振动部;及引出电极,从激振电极引出至一边部;在压电振动片的正面及背面的至少一面包括一边部的相反侧的边部的至少一部分,且在能涂布粘结剂的区域形成有指示标记。
指示标记也可由与激振电极及引出电极相同的材料形成。此外,指示标记也能够以相反侧的边部上的宽度宽于中央侧的宽度的方式形成。此外,指示标记也可形成为梯形。此外,指示标记也可包括相反侧的边部的全部而形成。
此外,本发明是具有保持所述压电振动片的基座的压电器件,基座具备与压电振动片的指示标记对应的对应标记。
此外,本发明是一种压电振动片的制造方法,包括:形成工序,形成所述的压电振动片;保持工序,使压电振动片保持在基座上;及确认工序,观察压电振动片的指示标记与设置在基座上的对应标记来确认保持着压电振动片的位置。保持工序也可包括涂布确认工序,该涂布确认工序是在压电振动片的背面涂布粘结剂,并确认其涂布位置。
[发明的效果]
根据本发明,除可容易地进行压电振动片相对于基座的搭载位置的确认以外,在涂布有粘结剂时,还可容易地判别粘结剂的涂布位置及涂布量是否恰当。由此,可避免压电振动片与基座的接合不良。
附图说明
图1(a)、图1(b)表示第1实施方式的压电振动片,图1(a)是俯视图,图1(b)是沿着图1(a)的A-A线的剖视图。
图2是第2实施方式的压电振动片的俯视图。
图3是第3实施方式的压电振动片的俯视图。
图4是第4实施方式的压电振动片的俯视图。
图5(a)、图5(b)表示第5实施方式的压电振动片,图5(a)是俯视图,图5(b)是沿着图5(a)的B-B线的剖视图。
图6(a)、图6(b)表示压电器件的实施方式,图6(a)是俯视图,图6(b)是沿着图6(a)的C-C线的剖视图。
图7是图6(a)、图6(b)所示的压电器件的基座的俯视图。
图8(a)、图8(b)是表示压电器件的实施方式的变形例的剖视图。
图9是表示图6(a)、图6(b)的压电器件的制造工序的流程图。
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