[发明专利]一种废液废固分离回收系统

说明书

技术领域

本发明属于半导体晶圆撕金去胶领域，具体地说是一种废液废固分离回收系统。

背景技术

目前，在半导体撕金去胶过程中，通过高压喷头喷出药液(如N-甲基吡咯烷酮)，通过高压将半导体在生产制造过程中晶圆表面附着的贵重金属(如Au等)去掉。由于在撕金去胶过程中，晶圆表面所去掉的是贵重金属，所以对贵重金属的回收成为各方关注的焦点，得到大家的重视。

现有对贵重金属的回收主要是通过物理方式完成的，也就是通过过滤网将在废液中的贵重金属过滤掉。然而这种方式固液无法完全分离，只能使贵重金属的回收率维持在70％左右，造成大量贵重金属的流失。为节约成本，经过过滤网的废液将会再次使用，废液经过八次左右的使用将被换掉，废液需要特殊处理，否则将对环境造成严重影响；同时，高压喷嘴直径非常小，废液中的金属屑对喷嘴的损伤十分严重。

发明内容

本发明的目的在于提供一种废液废固分离回收系统。该分离回收系统使得贵重金属与废液得到完全分离，既保证贵重金属得到保留，同时又使得药液可以重复使用。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：

本发明包括废液罐、压力罐、冷却装置及制成品罐，其中废液罐的入口通过管路与撕金去胶机相连通，所述撕金去胶机产生的废液废固排入所述废液罐中；所述废液罐的出口通过管路依次与压力罐、冷却装置及制成品罐相连通，所述压力罐内设有加热装置；所述废液罐中的废液废固在压力罐中通过所述加热装置加热，产生的废液蒸汽与废固分离、通过所述冷却装置变为液体流入制成品罐中，所述废固留在压力罐中，所述制成品罐中的液体供所述撕金去胶机循环使用。

其中：所述制成品罐通过管路连通有真空源，该管路上安装有真空阀；所述制成品罐与撕金去胶机之间设有缓冲罐，该缓冲罐的入口通过管路与所述制成品罐的出口相连通，并在所述管路上安装有将制成品罐中的液体泵入到缓冲罐的泵及控制所述管路通断的通断阀；所述缓冲罐的出口通过管路与撕金去胶机相连通；所述废液罐的出口通过管路与压力罐的入口相连通，并在所述管路上安装有将废液罐中的废液废固泵入到压力罐中的供给泵及控制所述管路通断的通断阀；所述压力罐的出口通过管路与冷却装置的入口相连通，并在所述管路上安装有控制所述管路通断的通断阀；所述冷却装置的出口通过管路与制成品罐的入口相连通；所述废液罐上设有液位传感器；所述压力罐上设有温度传感器。

本发明的优点与积极效果为：

本发明通过低压蒸馏，完成对撕金去胶机工作过程中产生的废液与废固完全分离，贵重金属得到回收，化学药液得到净化可再次使用；本发明系统解决了半导体在去胶过程中贵重金属的流失，与废化学品对环境造成的破坏，实现了半导体去胶过程绿色环保。

附图说明

图1为本发明的结构流程图；

其中：1为撕金去胶机，2为废液罐，3为液位传感器，4为第一通断阀，5为供给泵，6为第二通断阀，7为压力罐，8为加热器，9为第三通断阀，10为冷凝器，11为制成品罐，12为真空阀，13为真空源，14为第四通断阀，15为泵，16为缓冲罐，17为温度传感器。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步详述。

如图1所示，本发明包括废液罐2、压力罐7、冷却装置、制成品罐11、真空源13及缓冲罐16，其中压力罐7内设有加热装置。本实施例的冷却装置为冷凝器10，该冷凝器10为冷却水套，设有PCW(工艺冷却水系统)IN及PCW OUT；本实施例的加热装置为加热器8，该加热器8可为电磁炉，应用磁场感应涡流加热原理对压力罐7进行加热，满足了半导体行业使用环境要求。

废液罐2的入口通过管路与撕金去胶机1的出口相连通，废液罐2的出口通过管路与压力罐7的入口相连通，并在废液罐2与压力罐7之间的管路上依次安装有第一通断阀4、供给泵5及第二通断阀6；废液罐2上设有液位传感器3，通过该液位传感器3可检测废液罐2中废液的液位。

压力罐7的出口通过管路与冷凝器10的入口相连通，并在压力罐7与冷凝器10之间的管路上安装有第三通断阀9，冷凝器10的出口则通过管路与制成品罐11的入口相连通。在压力罐7上设有温度传感器17，通过该温度传感器17可检测压力罐7中的废液温度。