[发明专利]一种制备高纯气体的方法

权利要求书

1.一种制备高纯气体的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1)、原料气体通过原料气体管道送至制备装置中；

步骤2)、进入制备装置中的原料气体依次通过气液分离器，冷凝器和反应塔后处理后形成成品气体，进入成品气体管道送至用户；

步骤3)、成品气体通过出气三通球阀的调整，部分成品气回流至反应塔，其中反应塔启动再生及反应功能处理后，进入再生成品气体管道。

2.根据权利要求1所述的一种制备高纯气体的方法，其特征在于，所述制备装置包括：

至少三组相同结构的反应塔循环装置，所述反应塔循环装置包括依次连通的气液分离器，冷凝器，以及反应塔，所述气液分离器连接有进气三通阀，所述反应塔连接有出气三通阀，

所述进气三通阀的其余两个端口分别连接有原料气体管道和再生半成品气体管，

所述出气三通阀的其余两个端口分别连接有再生成品气体管道和成品气体管道。

3.根据权利要求2所述的一种制备高纯气体的方法，其特征在于，还包括一安装于成品气体管道上的气动调节阀，和一安装于再生成品气体管道的流量计，所述流量计与气动调节阀联动，实现再生流量的控制。

4.根据权利要求2所述的一种制备高纯气体的方法，其特征在于，所述再生半成品气体管上安装一露点分析仪，用于实时测量再生半成品气体管内的气体露点数据。

5.根据权利要求2所述的一种制备高纯气体的方法，其特征在于，所述反应塔包括一塔体，一设置于塔体内部的电加热器，所述塔体的进出口管道上设置有三通球阀。